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影響無塵室的氣流因素很多,,如制程設(shè)備,、人員、無塵室組裝材,、照明器具等,,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素,。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,,應設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,,良率也勢必降低,。無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,,相對地在其附近之潔凈度將會較差,,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當,、設(shè)備布局是否完善,,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。 如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度,?贛州1000級無塵室施工
21世界,,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高,。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,,導致品質(zhì)低下,。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高,。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要,。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,,造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路,。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素,。江西十萬級無塵室裝修無塵室內(nèi)穿著潔凈服,。
簡易無塵室和無塵車間定義有何不同?
簡易無塵室是指在無塵車間內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機玻璃圍一個小空間,,上方采用HEPA及FFU送風單元組成一相對無塵車間較高凈化級別的空間,,簡易無塵室可配風淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備,。
無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣、細菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性,。無塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,這樣的一個空間我們一凈稱之為無塵車間,。
由于生產(chǎn)的產(chǎn)品各不相同,其原料在物理性和化學性方面的差別也很大,,對環(huán)境和人的身體產(chǎn)生不同程度的傷害,。我們要處理的多數(shù)是化學性方面的性質(zhì),如有毒原料,,揮發(fā)性,、刺激性、腐蝕性氣體原料等。這就要求生產(chǎn)車間的通風工程根據(jù)實際情況有著科學的設(shè)計,。 潔凈區(qū)的風速,、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)根據(jù)空調(diào)系統(tǒng)操作規(guī)程,,定時監(jiān)測,。溫濕度通過溫濕度傳感器對不符合要求的溫濕度進行室外監(jiān)控記錄,達到及時調(diào)節(jié)的目的,。以制藥廠的三苯精烘包結(jié)晶間為例,,風量的壓強差經(jīng)過風量的調(diào)節(jié)使其平衡基本保持恒定,因為這里和工藝走廊相比要求維持一個相對負壓,,當各級過濾器出現(xiàn)阻擋和栓塞的情況時,,可以適當調(diào)節(jié)送風量變頻,改變送風機的頻率,,增大壓頭,,克服過濾器的栓塞的情況時,可以適當調(diào)節(jié)送風量變頻,,改變送風機的頻率,,增大壓頭,克服過濾器的栓塞阻力,,保證房間的送風量,,保證結(jié)晶間的壓差,從而達到凈化的目的,。無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,。
有關(guān)推薦或參考值的應用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨無塵室用途等具體情況而異,,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,,就工業(yè)無塵室工程而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無塵室內(nèi)污染源:建筑物組件,、人員數(shù)量及操作活動,、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,,根據(jù)具體情況而異,,變化很大;(2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻,、平等的流線,,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,,避免死角及溫度分層,;(3)自凈時間(恢復時間)的控制要求:無塵室中事故釋放或帶入污染物。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風,?;葜?000級無塵室安裝
無塵室的分類有哪些?贛州1000級無塵室施工
層流式潔凈室:層流式空氣氣流運動成一均勻直線形,,空氣過濾器進入室內(nèi),,并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用,,一般其潔凈室等級為Class 1~100,。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,,塵埃隨風向排出室外,,一般在***側(cè)污染較嚴重,。 優(yōu)點:構(gòu)造簡單,,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可達到要求,穩(wěn)定運轉(zhuǎn),。 缺點:建造費用比亂流式高,,室內(nèi)空間不易擴充。 (2)垂直層流式:空氣由上往下吹,,可得較高之潔凈度,,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。 優(yōu)點:管理容易,,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。 缺點:構(gòu)造費用較高,,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,,維修更換過濾器較麻煩,。 贛州1000級無塵室施工
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