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無塵室方案

來源: 發(fā)布時間:2022-08-10

簡易無塵室和無塵車間定義有何不同?

簡易無塵室是指在無塵車間內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機玻璃圍一個小空間,,上方采用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對無塵車間較高凈化級別的空間,,簡易無塵室可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備,。

無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,這樣的一個空間我們一凈稱之為無塵車間。


無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,。無塵室方案

    21世界,,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高,。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,,導(dǎo)致品質(zhì)低下,。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高,。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要,。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于,。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,,可能將其腐蝕,,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無塵室方案如何保證無塵室內(nèi)的潔凈度,,清潔是重要的手段之一,。

空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化,恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度,;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下),,對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;(4)末級過濾器的效率:在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下,,可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度,;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過濾器,并降低氣流速度,,或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度,,以求流量與阻力的乘積**小,;(5)經(jīng)濟性考慮:過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加,,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過大往往不必要,,亦不一定有效果,;(6)對潔凈度要求低的無塵室工程,有時換氣次數(shù),。

    由于生產(chǎn)的產(chǎn)品各不相同,,其原料在物理性和化學(xué)性方面的差別也很大,對環(huán)境和人的身體產(chǎn)生不同程度的傷害,。我們要處理的多數(shù)是化學(xué)性方面的性質(zhì),,如有毒原料,揮發(fā)性,、刺激性,、腐蝕性氣體原料等。這就要求生產(chǎn)車間的通風(fēng)工程根據(jù)實際情況有著科學(xué)的設(shè)計,。潔凈區(qū)的風(fēng)速,、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)根據(jù)空調(diào)系統(tǒng)操作規(guī)程,定時監(jiān)測,。溫濕度通過溫濕度傳感器對不符合要求的溫濕度進行室外監(jiān)控記錄,,達到及時調(diào)節(jié)的目的。以制藥廠的三苯精烘包結(jié)晶間為例,,風(fēng)量的壓強差經(jīng)過風(fēng)量的調(diào)節(jié)使其平衡基本保持恒定,,因為這里和工藝走廊相比要求維持一個相對負壓,當(dāng)各級過濾器出現(xiàn)阻擋和栓塞的情況時,,可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,,改變送風(fēng)機的頻率,增大壓頭,,克服過濾器的栓塞的情況時,,可以適當(dāng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量變頻,改變送風(fēng)機的頻率,,增大壓頭,,克服過濾器的栓塞阻力,,保證房間的送風(fēng)量,,保證結(jié)晶間的壓差,從而達到凈化的目的,。 無塵室的設(shè)計與裝修有什么意義,?

無塵室是指將環(huán)境因素控制在某個規(guī)定范圍內(nèi)的空間。主要控制的要素包括:環(huán)境溫度,、濕度,、氣流組織型式、風(fēng)速,、塵埃粒子,、微生物、氣體分子,、壓差,、照度、噪音,、微振動,、靜電、風(fēng)量等,;它是為了滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或生物,、醫(yī)學(xué)等特殊要求,而將給予特別設(shè)計和建造的生產(chǎn)車間或具有特殊用途的房間(如:手術(shù)室),;不論外在的空氣條件如何變化,,其潔凈室內(nèi)的環(huán)境均能達到原本設(shè)定的空氣潔凈度、溫度、濕度,、壓力,、靜電、微生物等多項性能指標(biāo),,并保持穩(wěn)定,。潔凈室(亦稱無塵室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。無塵室方案

無塵室(亦稱潔凈室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間,。無塵室方案

    無塵室建造選址:無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn),、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則,。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形,、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn),、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠離大量散發(fā)粉塵,、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機場,、鐵路,、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護距離,。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上,。1、廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點和防止交叉污染,按生產(chǎn),、行政,、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。2,、廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn),、倉庫、科研,、辦公及水,、電、汽,、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池,、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫,、機修,、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進行,。3,、設(shè)置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對位置,適用于遠離產(chǎn)生粉塵,、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護距離的原則,。 無塵室方案

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