如果我們要建造一個(gè)簡(jiǎn)易的無(wú)塵室需要按照以下步驟酌情進(jìn)行：首先第一步要確定無(wú)塵室的具體環(huán)境參數(shù),，根據(jù)業(yè)主的用途，可能包括但不僅限于潔凈度,、溫濕度,、細(xì)菌數(shù)量、風(fēng)速、氣流分布要求等等。然后找專(zhuān)業(yè)的設(shè)計(jì)師進(jìn)行工程設(shè)計(jì),，同時(shí)做好相應(yīng)的報(bào)建,、消防備案等行政審批工作。第二步再尋找專(zhuān)業(yè)的潔凈室施工企業(yè),，根據(jù)圖紙報(bào)價(jià)，并組織競(jìng)標(biāo)。第三步就是簽訂施工合同,，施工方準(zhǔn)備好材料進(jìn)行施工。完工之后進(jìn)行測(cè)試,，驗(yàn)收,。無(wú)塵室就可以正式投入使用了,。

無(wú)塵室內(nèi)穿著潔凈服?；葜?0000級(jí)無(wú)塵室方案

       潔凈室的主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,，此空間我們稱之為潔凈室,。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定,。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,，無(wú)塵是必然的要求,。東莞1000級(jí)無(wú)塵室方案無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。

無(wú)塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,，而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境,。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室,。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù),、生物技術(shù),、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等,，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),，才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響,。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置,。無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū),。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后,，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,，經(jīng)由冷卻盤(pán)管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,，通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,，后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后，供應(yīng)至Fab區(qū),。

    21世界,，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,，無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高,。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,，導(dǎo)致品質(zhì)低下,。伴隨商品的***要求，環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高,。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要,。所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于,。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加,，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路,。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕,，所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素,。無(wú)塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到,。

    萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)如下：1.塵粒比較大允許數(shù)（每立方米）,；2.大或等于，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè),；3.微生物比較大允許數(shù),；4.浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米；5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿,。6.壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa,。7.萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度,、濕度無(wú)特殊要求時(shí),，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，8.溫度一般控制在冬季20~22℃,；夏季24~26℃,；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％,，夏季潔凈室濕度控制在50－70％,。9.配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室,、人員凈化和物料凈化用室,、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx,。10.噪聲控制一,、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)70分貝A,。二,、靜態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流潔凈室的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A,。 無(wú)塵室要有符合環(huán)境,、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備,、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料,。東莞1000級(jí)無(wú)塵室方案

無(wú)塵室的環(huán)境是怎么樣的？惠州10000級(jí)無(wú)塵室方案

若想檢驗(yàn)無(wú)塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),，大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速,、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮,。其中風(fēng)速,、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)，一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃,，一般濕度控制范圍:(45±5)%RH,；壓差是在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無(wú)塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差,。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí),，維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無(wú)塵室的構(gòu)成要求是不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,，也不易產(chǎn)生微塵粒子,，且很難附著粒子，而且吸濕性小,，但是為了維持室內(nèi)之濕度條件,，熱絕緣性要高,。

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