無塵室溫濕度控制方法：

1,、無塵室溫濕度維護管理,。

①無塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣,，人員設(shè)備,、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置,。

②隔間板,、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵控制,、生產(chǎn)自動化及人員不聚集,、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專門使用器等,。

2,、室內(nèi)發(fā)塵不積留。

墻壁體應(yīng)光滑無死角,、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃,、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。

3,、發(fā)生塵埃排除,。

換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng),。

無塵室空氣潔凈的原理與解析,；佛山100000級無塵室施工

    21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,，環(huán)境無塵化的需求也日益提高,。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于,。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,，集成電路積集度不斷地增加,，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路,。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕,，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素,。珠海100級無塵室無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。

亂流式潔凈室是空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板進行回風(fēng),。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級千級至-十萬級。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本低,，潔凈室擴充比較容易； 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,，易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再***,，欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度,，往往須耗時相當(dāng)長一段時間進行自凈。

    無塵室裝修的標(biāo)準(zhǔn)：1,、無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整,、光滑、不起塵,、避免眩光,、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面,。(2)踢腳不應(yīng)突出墻面,。(3)無塵室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時宜干燥作業(yè),，抹灰應(yīng)采用高級抹灰標(biāo)準(zhǔn),。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃,、不開裂,、耐清洗、表面光滑,、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料,。2、無塵室地面設(shè)計應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,。(2)無塵室地面應(yīng)平整,，耐磨、易清洗,，不易積聚靜電,，避免眩光，不開裂等,。(3)地面墊層宜配筋,，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。3,、潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整,、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施,。4,、無塵室（區(qū)）外窗設(shè)計應(yīng)符合下列要求:(1)當(dāng)無塵室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗,，并應(yīng)有良好的氣密性,。(2)靠無塵室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺。5,、無塵室內(nèi)的密閉門應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開啟,，并加設(shè)閉門器，無窗無塵室的密閉門上宜設(shè)觀察窗,。6,、無塵室門窗、墻壁,、頂棚等的設(shè)計應(yīng)符合下列要求:(1)無塵室門窗,、墻壁、頂棚,、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙,，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。,。 如何保證無塵室內(nèi)的潔凈度,，清潔是重要的手段之一。

    無塵室建造所需要的材料要滿足保溫隔熱,、隔音防振等等這些之外,，更需要重視的一點是建筑材料表面不產(chǎn)塵、不積塵,、建造一座無塵室就是為了提高潔凈度,，達(dá)到一個無塵無菌的工作環(huán)境，如果用來建造的材料容易產(chǎn)塵,，那么就會破壞無塵室的潔凈度,，起到了一個反向的作用。另外還要注意靜電的產(chǎn)生,，因此要有良好的除靜電設(shè)施,。無塵室的密封性要強，不然會導(dǎo)致無塵室空氣的外泄或外界的空氣侵入進來,，破壞無塵室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度,，從而造成污染。無塵室裝修材料有：1.木工材料：大芯板,，九厘板,，面板,，線條，石膏板,，木龍骨,，小五金，乳膠,，防潮油等,；2.室內(nèi)裝飾材料主要可分為實材、板材,、片材,、型材、線材等五個類型,。根據(jù)不同的需求有不同的類型,。常見的可分為兩種類型,，一是墻體裝飾材料,，一是地面裝飾材料。 無塵室中不論外在空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能特性。無塵室安裝

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潔凈室主要塵源： 1,、產(chǎn)品及設(shè)施 無塵室內(nèi)的發(fā)塵量,，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi),；產(chǎn)品,、材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小,，可忽略,；由于金屬墻壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下,。 2,、人 發(fā)塵主要來自人，占90%左右,。在人的發(fā)塵量上,，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵量也在不斷減少,。 A,、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量較大,，以下依次為的確良、去靜電純滌綸,、尼龍,； B、樣式：大掛式發(fā)塵量大,，上下分裝型次之,，全罩型少； C,、活動：動作時的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時間3-7倍,； D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一,。 佛山100000級無塵室施工

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