根據(jù)對華新光電、日東集團的剝離液成分進行分析得知,,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),,二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),,其中市場上大部分以二乙二醇單丁醚居多,。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,由以下幾種組分構(gòu)成:(1),、1~20%重量的醇胺或者酰胺,,以伯胺和腫胺為主。(2),、10~60%重量的醇,;(3)、10~50%重量的水,;(4),、5~50%重量的極性有機溶劑,如,;N-甲基吡咯烷酮(NMP),,環(huán)丁基砜、二甲基亞砜(DMSO),、二甲基乙酰胺,、N-乙基甲酰胺等,。(5)、0.001~3%重量的金屬抗蝕劑,,如2-氨基環(huán)己醇,、2-氨基環(huán)戊醇等。根據(jù)上述分析可以看出,,剝離液中大部分是有機溶劑,,可以加以回收資源化利用,或者將剝離廢液進行脫色凈化處理后再用于生產(chǎn)中,,配成剝離液,。當(dāng)前國內(nèi)主要產(chǎn)生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,均是高新技術(shù)發(fā)達區(qū)域,,隨著國內(nèi)經(jīng)濟及城市的發(fā)展,,剝離液產(chǎn)廢地點將越來越***,也將引起環(huán)保**的重視及關(guān)注,。剝離液主要產(chǎn)廢廠家諸如上海和輝光電有限公司,、深圳市聚飛光電股份有限公司、深圳市三利譜光電科技股份有限公司,、深圳市聯(lián)建光電服份有限公司,、深圳成光興光電技術(shù)股份有限公司、京東方用的哪家的剝離液,?紹興配方剝離液按需定制
剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路,、分立器件、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,,下游應(yīng)用領(lǐng)域***,但整體應(yīng)用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小,。
剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,,*需達到G1等級,,下游客戶主要要天合、韓華,、通威等,;應(yīng)用到面板中,通常要達到G2,、G3等級,,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,,下游客戶有京東方、中星光電,;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級,,在8英寸及以下的晶圓制造中,對于剝離液的要求達到G3,、G4水平,,大硅片、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達到G5水平,。 嘉興天馬用的蝕刻液剝離液批量定制天馬微電子用的哪家的剝離液,?
博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),、品質(zhì)保證,、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,、汽車領(lǐng)域水處理,、膠黏劑行業(yè)日化、食品,、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),,該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證,、倉儲和物流,。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理,、膠黏劑行業(yè)日化,、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),,該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),、品質(zhì)保證,、倉儲和物流,。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天、汽車領(lǐng)域水處理,、膠黏劑行業(yè)日化,、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),,該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),、品質(zhì)保證、倉儲和物流,。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,、汽車領(lǐng)域水處理,、膠黏劑行業(yè)日化、食品,、醫(yī)藥行業(yè)
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲,、苯基硫脲或月桂酰基硫脲中的一種,。具體的,,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚,、辛基酚聚氧乙烯醚,、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種,。采用上述技術(shù)方案,,本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,,而且使用壽命長,。具體實施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,,10~20wt%一乙醇胺,,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水,。聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑因為分子中的醚鍵不易被酸、堿破壞,,所以穩(wěn)定性較高,,水溶性較好,耐電解質(zhì),,易于生物降解,,泡沫小。硫脲類緩蝕劑呈現(xiàn)弱堿性,,所以在酸性介質(zhì)中能夠起到緩蝕的效果,,另外與聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑和n-甲基吡咯烷酮配合可以起到提高處理量的作用。下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細(xì)說明,。友達光電用的哪家的剝離液,?
例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑,。實施例以下,,舉出實施例對本發(fā)明進行詳細(xì)說明,但本發(fā)明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合,、溶解而制備抗蝕劑的剝離液,。【表1】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii,、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實施從層壓到圖案曝光,、顯影。向本基板以15μm厚實施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,,切出50×50mm2作為試驗片,。需要說明的是,該試驗片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗片,。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評價方法上述評價方法中將噴涂運行時間固定在4分鐘,,按照以下的評價基準(zhǔn)評價l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘渣。將其結(jié)果示于表2,。<剝離殘渣的評價基準(zhǔn)>(分?jǐn)?shù))(內(nèi)容)1:無殘渣2:有極少量殘渣,。剝離液的大概費用大概是多少?惠州格林達剝離液產(chǎn)品介紹
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其包含含有鉀鹽的第1液,、和含有溶纖劑的第2液。再者,,本發(fā)明涉及印刷布線板,、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法,,其特征在于,,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器或引線框的制造方法中,,使用上述抗蝕劑的剝離液進行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,。因此,,本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器或引線框的制造方法,。具體實施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下,,稱為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑,。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定,例如,,可以舉出氫氧化鉀,、碳酸鉀等,。需要說明的是,鉀鹽中不含相當(dāng)于后述的硅酸鹽的硅酸鉀,。這些之中推薦氫氧化鉀,。另外,本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒有特別限定,,例如,,推薦,更推薦,,特別推薦,。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類,例如,,可以舉出異丙基溶纖劑,、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑,、苯基丁基溶纖劑,、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑,、苯基溶纖劑,、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑,、二乙基溶纖劑等,。這些之中推薦異丙基溶纖劑,。另外。紹興配方剝離液按需定制
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有危險化學(xué)品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細(xì)生產(chǎn)),;化學(xué)品銷售(涉及危險化學(xué)品的按《危險化學(xué)品經(jīng)營許可》核定許可范圍經(jīng)營);自營和代理各類商品及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)(國家限定企業(yè)經(jīng)營或禁止進出口的商品和技術(shù)除外),。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)等多項業(yè)務(wù),,主營業(yè)務(wù)涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液,。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),,深受員工與客戶好評,。公司以誠信為本,,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液,,我們本著對客戶負(fù)責(zé),,對員工負(fù)責(zé),更是對公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,,爭取做到讓每位客戶滿意,。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),我們相信誠實正直,、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,,將為公司和個人帶來共同的利益和進步,。經(jīng)過幾年的發(fā)展,,已成為高純雙氧水,,高純異丙醇,蝕刻液,,剝離液行業(yè)出名企業(yè),。