本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液,。背景技術(shù)::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液,。然而,,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,,而避免其使用,。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),,由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點?,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術(shù),。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,,從而完成本發(fā)明,。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材,。此外,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液套件。維信諾用的哪家的剝離液,?廣東鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源
本發(fā)明涉及化學制劑技術(shù)領(lǐng)域:,,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::隨著半導體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對多功能化和微型化的要求越來越高,。在這種小型化趨勢的推動下,,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,,立體空間大,,引線距離短,信號傳輸快,,所以能夠更好地實現(xiàn)封裝的微型化,。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻,,當中會用到光刻膠剝離液,。以往的光刻膠剝離液對金屬的腐蝕較大,可能進入疊層內(nèi)部造成線路減薄,,藥液殘留,,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會對疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液,。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會對晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕,。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,,5~11wt%四甲基氫氧化銨,,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水,。具體的,。蘇州銅鈦蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨哪家的剝離液比較好用點?
1.顯影液:顯影液是一種溶液,,用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置,,使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液:剝離液是一種特殊的溶劑,,用于將PCB板上的銅線軌道剝離開,,以便重新焊接元件。3.蝕刻液:蝕刻液是一種酸性溶液,,用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉,,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一種混合物,用于將PCB板上的塵埃,、污垢和其他殘留物消除干凈,,以便進行焊接和裝配。
1.顯影液:是指用于顯影制版的液體,,一般由溶劑、硫酸銅,、有機酸和抗氧化劑等組成,。2.剝離液:是指用于把制版上的顯影膜剝離出來的液體,一般由硝酸鋁,、硫酸鈉等組成,。3.蝕刻液:是指用于蝕刻制版的液體,一般由硝酸銅,、硝酸鈉,、硝酸鋅等組成。4.清洗液:是指用于清洗制版的液體,,一般由水,、硝酸、硫酸,、乙醇等組成,。
剝離液是一種通用濕電子化學品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),,同時防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路、分立器件,、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應用領(lǐng)域***,,但整體應用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小。
剝離液應用在太陽能電池中,,對于剝離液的潔凈度要求較低,,*需達到G1等級,下游客戶主要要天合,、韓華,、通威等;應用到面板中,,通常要達到G2,、G3等級,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方,、中星光電,;在半導體中的應用可分等級,在8英寸及以下的晶圓制造中,,對于剝離液的要求達到G3,、G4水平,大硅片,、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達到G5水平,。 剝離液的價格哪家比較優(yōu)惠?
光電行業(yè)的大力發(fā)展,,致使剝離液被國內(nèi)外研究人員所關(guān)注及研究,,雖然在**網(wǎng)及技術(shù)網(wǎng)上對剝離液的闡述較少,但當前國內(nèi)與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,,,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚,、3%的光刻膠和?,F(xiàn)有技術(shù)***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機成分,回收得到的有機組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應用,。這種方法雖然流程簡便,,但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過程中,光刻膠濃度達到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降,,使溶劑回收效率大為降低,,處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈,,進而影響工藝操作效率,。另外,美國專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設(shè)置過濾回收裝置,,通過粗孔和細孔過濾器的兩步組合過濾法除去光刻膠,,將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。 剝離液的大概費用大概是多少,?廣東鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源
剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài),。廣東鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源
含有的胺化合物的質(zhì)量分為:1%-2%。進一步技術(shù)方案中,,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質(zhì)量分為:30%-50%,;含有胺化合物的質(zhì)量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質(zhì)量分為:6%-12%,;含有潤濕劑的質(zhì)量分為:1%-7%,。進一步技術(shù)方案中,,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺,、n,,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術(shù)方案中,,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg),、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚,、乙二醇乙醚中的一種或多種,。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的胺化合物為環(huán)胺與鏈胺,。進一步技術(shù)方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的一種或多種;所述的鏈胺為乙醇胺,、二乙醇胺,、三乙醇胺、二甘醇胺,、異丙醇胺,、甲基二乙醇胺、amp-95中的一種或多種,。進一步技術(shù)方案中,,所述的三唑類化合物,具體為苯并三氮唑(bta),、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一種,。進一步技術(shù)方案中,所述的潤濕劑為含羥基化合物,,具體為為聚乙二醇,、甘油中的任意一種。廣東鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源
蘇州博洋化學股份有限公司目前已成為一家集產(chǎn)品研發(fā),、生產(chǎn),、銷售相結(jié)合的生產(chǎn)型企業(yè)。公司成立于1999-10-25,,自成立以來一直秉承自我研發(fā)與技術(shù)引進相結(jié)合的科技發(fā)展戰(zhàn)略,。本公司主要從事高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液領(lǐng)域內(nèi)的高純雙氧水,,高純異丙醇,蝕刻液,,剝離液等產(chǎn)品的研究開發(fā),。擁有一支研發(fā)能力強、成果豐碩的技術(shù)隊伍,。公司先后與行業(yè)上游與下游企業(yè)建立了長期合作的關(guān)系,。博洋化學集中了一批經(jīng)驗豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,能為客戶提供良好的售前,、售中及售后服務,,并能根據(jù)用戶需求,定制產(chǎn)品和配套整體解決方案,。蘇州博洋化學股份有限公司通過多年的深耕細作,,企業(yè)已通過精細化學品質(zhì)量體系認證,確保公司各類產(chǎn)品以高技術(shù),、高性能,、高精密度服務于廣大客戶。歡迎各界朋友蒞臨參觀,、 指導和業(yè)務洽談,。