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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-16

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    如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,,mm),。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥(niǎo)排列或矩陣排列等其中的一種排列方式,。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中宣泄孔具有一***壁面,,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,,當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,,為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,,本實(shí)用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi),,蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),、一基板,、一輸送裝置,以及一風(fēng)刀裝置,;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方,;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,,其中滾輪與基板接觸以運(yùn)行基板,;風(fēng)刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風(fēng)刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風(fēng)刀,。銀蝕刻液蝕刻液價(jià)格哪家的蝕刻液比較好用點(diǎn),?

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    更推薦滿足。參照?qǐng)D4,,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,,能夠使氧化物膜損傷不良**少,。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化,。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,,由此,即使沒(méi)有消耗費(fèi)用和時(shí)間的實(shí)際的實(shí)驗(yàn)過(guò)程,,也能夠選擇具有目標(biāo)防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑,。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護(hù)對(duì)象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來(lái)添加,。例如,,對(duì)于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準(zhǔn)處理10,000秒的情況下,,推薦按照保護(hù)對(duì)象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加,。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過(guò)上述添加劑的aeff值與濃度之積來(lái)計(jì)算,,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來(lái)表示,。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加,。

    蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡(luò)合劑的效果,,可抑制蝕刻液中產(chǎn)生鈦的沉淀,。作為所述α-羥基羧酸,,例如可舉出酒石酸、蘋果酸,、檸檬酸,、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無(wú)特別限制,,從絡(luò)合效果及溶解性的觀點(diǎn)來(lái)看,,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%,。另外,,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,,可提高鈦的蝕刻速度,。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無(wú)特別限制,從還原性及臭氣的觀點(diǎn)來(lái)看,,推薦為%至%,,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,,也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分,。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑,、成分穩(wěn)定劑及消泡劑等,。蝕刻液可通過(guò)使所述各成分溶解于水中而容易地制備。作為所述水,,推薦為將離子性物質(zhì)及雜質(zhì)除去的水,,例如推薦為離子交換水、純水,、超純水等,。蝕刻液可在使用時(shí)將各成分以成為預(yù)定濃度的方式調(diào)配,也可預(yù)先制備濃縮液并在即將使用之前稀釋而使用,。使用本發(fā)明的蝕刻液的鈦的蝕刻方法并無(wú)特別限制,,例如可舉出:對(duì)含有銅及鈦的對(duì)象物涂布或噴霧蝕刻液的方法;將含有銅及鈦的對(duì)象物浸漬在蝕刻液中的方法等,。處理溫度并無(wú)特別限制,。哪家的蝕刻液蝕刻效果好?

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一種ito蝕刻液及其制備方法,、應(yīng)用方法技術(shù)領(lǐng)域1.本技術(shù)涉及化學(xué)蝕刻技術(shù)領(lǐng)域,,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法,。背景技術(shù):2.目前,,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過(guò)化學(xué)蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成,。其中,,對(duì)于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系,、王水系ito蝕刻液,。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,,蝕刻的角度難以控制,,且容易對(duì)ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:3.有鑒于此,,為克服目前存在的技術(shù)難題,,本技術(shù)提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法,。4.具體地,,本技術(shù)首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數(shù)的各組分:20-22份的鹽酸,,6-7份的硝酸,,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,,以及水,;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺,、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種,;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種,。5.通過(guò)對(duì)蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進(jìn)行精確限定,以實(shí)現(xiàn)了對(duì)王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調(diào)控,,并在一定程度上實(shí)現(xiàn)了對(duì)蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35如何挑選一款適合公司的蝕刻液,?綿陽(yáng)銀蝕刻液蝕刻液推薦貨源

蝕刻液的類別一般有哪些。江蘇ITO蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨

    本實(shí)用涉及蝕刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,,具體為一種ito蝕刻液制備裝置,。背景技術(shù):蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù),蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,,其中,,濕蝕刻是采用化學(xué)試劑,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達(dá)到蝕刻的目的,,薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(tft~lcd),、發(fā)光二極管(led),、有機(jī)發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過(guò)程中銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液。現(xiàn)有的制備裝置在進(jìn)行制備時(shí)會(huì)發(fā)***熱反應(yīng),,使得裝置外殼穩(wěn)定較高,,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險(xiǎn),熱水與鹽酸接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),,濺出容易傷害工作人員,,保護(hù)性不足,鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,,成本過(guò)高,,且混合的效果不好。所以,,如何設(shè)計(jì)一種ito蝕刻液制備裝置,,成為當(dāng)前要解決的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種ito蝕刻液制備裝置,,以解決上述背景技術(shù)中提出的ito蝕刻液制備裝置保護(hù)性不足,、不具備很好的防腐蝕性和混合的效果不好的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,,包括制備裝置主體、高效攪拌裝置和過(guò)濾除雜裝置,。江蘇ITO蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨

蘇州博洋化學(xué)股份有限公司在高純雙氧水,,高純異丙醇,蝕刻液,,剝離液一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位,,無(wú)論是產(chǎn)品還是服務(wù),其高水平的能力始終貫穿于其中,。公司成立于1999-10-25,,旗下博洋化學(xué),已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平,。公司主要提供危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細(xì)生產(chǎn)),;化學(xué)品銷售(涉及危險(xiǎn)化學(xué)品的按《危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng)許可》核定許可范圍經(jīng)營(yíng));自營(yíng)和代理各類商品及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)(國(guó)家限定企業(yè)經(jīng)營(yíng)或禁止進(jìn)出口的商品和技術(shù)除外),。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,,服務(wù)可高,,能夠滿足多方位人群或公司的需要,。博洋化學(xué)將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù),,滿足國(guó)內(nèi)外廣大客戶的需求,。