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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-09-12

銀蝕刻液主要用于印刷線路板制造,,銀器及銀合金的蝕刻,、標(biāo)牌制作,。二,、突出特點(diǎn)1.蝕刻速度快,效率高,。使用方便,。蝕刻最高速度可達(dá)2000納米/秒。2.可循環(huán)使用,,無(wú)廢液排放,。三、理化指標(biāo)外觀:液體,;氣味:微,;比重:1.05±0.1;pH:偏堿性四,、使用方法1.預(yù)處理:如銀或銅合金表面不潔凈,,需對(duì)表面進(jìn)行潔凈處理,如除油,、除雜等,。2.蝕刻:(1).將圖案模板紙粘附于銀板或銀器上,再將銀蝕刻液用噴淋設(shè)備噴于圖案處,,時(shí)間1分鐘到幾十分鐘不定(用戶(hù)可根據(jù)蝕刻要求自行試驗(yàn)時(shí)間,,因模板紙不同,時(shí)間也不同),,揭去模板紙,,用清水沖掉殘物。(2).用100-200T的絲網(wǎng),,75度硬度的聚酯刮膠,,將光固化抗蝕刻油墨印刷在基板上,然后將油墨在紫外燈下光照20—30秒鐘,,(紫外光能量為1000mj/cm2),。用噴淋的方式進(jìn)行蝕刻,溫度50±5℃,,壓力1-3kg/cm2時(shí)間1分鐘到幾分鐘,,(具體時(shí)間根據(jù)蝕刻深度而定),。然后,用1%--3%的氫氧化鈉溶液將光固化抗蝕刻油墨溶解出去,。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的,?揚(yáng)州蝕刻液推薦廠家

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    如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,,因此,,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示),。再者,,請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D10至圖12所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,、其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),,或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),,其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,,當(dāng)該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時(shí),,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,,但應(yīng)避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過(guò)大而造成毛細(xì)現(xiàn)象破除,;此外,當(dāng)該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時(shí),。鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家友達(dá)光電用的哪家的蝕刻液,?

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    silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以,。此外,,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,,其特征在于,,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果,。此外,,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時(shí)*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說(shuō)明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時(shí)氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖,。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的,、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度,。

    以帶動(dòng)該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動(dòng),。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,,以使該基板20上該藥液51減少,,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間,。此外,,請(qǐng)一并參閱圖8與圖9所示,,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,,當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題;此外,。天馬微電子用哪家蝕刻液更多,?

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    避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行,。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,,在制備蝕刻液的時(shí)候,,需要將裝置固定的特定的位置,通過(guò)支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定,,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時(shí),,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,,有效的提高了裝置固定的防滑性,。推薦的,過(guò)濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過(guò)濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,,其分散混合性能差,,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過(guò)濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾,,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過(guò)濾板26過(guò)濾出,,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患,。推薦的,,過(guò)濾部件9設(shè)置有一個(gè),過(guò)濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),,過(guò)濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,,過(guò)濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾,且過(guò)濾部件9能將內(nèi)部的過(guò)濾板26進(jìn)行拆卸更換,,將過(guò)濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗,,在將過(guò)濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí),將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng),。蝕刻液的發(fā)展趨勢(shì)如何,。鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家

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    該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11,、一與該***擋板11接合的第二擋板12,,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿該第二擋板12且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔121,。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設(shè)置,,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設(shè)置,以使該***擋板11,、該第二擋板12與該第三擋板13圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣,,在一實(shí)施例中,該***擋板11,、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,,其中該第二擋板12的長(zhǎng)度h介于10cm至15cm之間,而該等開(kāi)設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥(niǎo)排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合,;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,開(kāi)設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥(niǎo)排列的直通孔態(tài)樣,,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),,其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上,、下二端部的壓力,。此外,請(qǐng)一并參閱圖4圖5所示,。揚(yáng)州蝕刻液推薦廠家