當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題,;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,,因此,,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上,。由上述的實(shí)施說(shuō)明可知,,本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相較之下,本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn),。本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),,有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,。蘇州性價(jià)比高的蝕刻液。京東方用的蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行。推薦的,,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,,在制備蝕刻液的時(shí)候,需要將裝置固定的特定的位置,,通過(guò)支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時(shí),,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性,。推薦的,,過(guò)濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過(guò)濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,,其分散混合性能差,,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過(guò)濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾,,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過(guò)濾板26過(guò)濾出,,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患,。推薦的,,過(guò)濾部件9設(shè)置有一個(gè),,過(guò)濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過(guò)濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,,過(guò)濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾,,且過(guò)濾部件9能將內(nèi)部的過(guò)濾板26進(jìn)行拆卸更換,將過(guò)濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗,,在將過(guò)濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí),,將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng)。江蘇鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液費(fèi)用哪家的蝕刻液比較好用點(diǎn),?
將蝕刻液通過(guò)回流管抽入到一號(hào)排液管中,,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過(guò)設(shè)置有伸縮管與伸縮桿,,能夠在蝕刻液通過(guò)進(jìn)液管流入到電解池中時(shí),,啟動(dòng)液壓缸帶動(dòng)伸縮桿向上移動(dòng),從而通過(guò)圓環(huán)塊配合伸縮管帶動(dòng)噴頭向上移動(dòng),,進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,,避免蝕刻液對(duì)電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池的功能,;該回收處理裝置通過(guò)設(shè)置有集氣箱與蓄水箱,,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動(dòng)抽氣泵,,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導(dǎo)入到集氣箱中,,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓泵并打開(kāi)三號(hào)電磁閥,,將蓄水箱中的清水通過(guò)抽水管抽入到進(jìn)液管中,,將裝置主體內(nèi)部的蝕刻液進(jìn)行清洗,具有很好的清理作用,。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖,;圖3為本發(fā)明圖2中a的示意圖,;圖4為本發(fā)明圖3的整體示意圖;圖5為本發(fā)明電解池的結(jié)構(gòu)示意圖,。圖中:1,、裝置主體;2,、分隔板,;3,、承載板;4,、電解池,;5、隔膜,;6,、進(jìn)液漏斗,;7、過(guò)濾網(wǎng),;8,、進(jìn)液管;9,、伸縮管,;10、噴頭,;11、液壓缸,。
本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,,具體為高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來(lái),,人們對(duì)半導(dǎo)體裝置,、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí),對(duì)于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化,、高性能化的要求也越來(lái)越嚴(yán)格,,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過(guò)程中,,對(duì)蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路,、短路,得到較高的成品率,,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?,F(xiàn)有的高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,,連接安裝步驟繁瑣,,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒(méi)有過(guò)濾的部件,,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,,難以滿足現(xiàn)代社會(huì)的需求。所以,,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,,成為我們當(dāng)前需要解決的問(wèn)題。使用蝕刻液需要什么條件,。
以及一設(shè)置于基板下方的第二風(fēng)刀,,其中***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀分別吹出一氣體至基板,。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中蝕刻設(shè)備可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置,,噴灑裝置相對(duì)于風(fēng)刀裝置一端而設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的另一端部,。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上,。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中擋液板結(jié)構(gòu)與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間,。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中滾輪呈順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng),,并帶動(dòng)基板由噴灑裝置下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀下端部的方向移動(dòng),。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中氣體遠(yuǎn)離***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀的方向分別與基板的法線方向夾設(shè)有一第三夾角。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中第三夾角介于20度至35度之間,。再者,,為了達(dá)到上述實(shí)施目的,本實(shí)用新型另研擬一種蝕刻方法,,于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi)運(yùn)行,;首先,設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu),,其中擋液板結(jié)構(gòu)設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔;接著,,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的輸送裝置輸送一基板,,以經(jīng)過(guò)一噴灑裝置進(jìn)行一藥液噴灑;接續(xù),,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的風(fēng)刀裝置對(duì)基板吹出一氣體,,以使基板干燥;***,,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄,。如上所述的蝕刻方法,。哪家的蝕刻液配方比較好?京東方用的蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
蘇州性價(jià)比較好的蝕刻液的公司聯(lián)系電話,。京東方用的蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
如前文所述,,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,因此,,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示),。再者,,請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D10至圖12所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,、其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),,其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,,且該第二擋板12具有一下表面122,當(dāng)該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時(shí),,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,,但應(yīng)避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過(guò)大而造成毛細(xì)現(xiàn)象破除;此外,,當(dāng)該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時(shí),。京東方用的蝕刻液蝕刻液費(fèi)用