伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,,圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,,分隔板2與承載板3相互垂直設(shè)置,電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°,,進液管8的形狀設(shè)計為l型,,且進液管8貫穿分隔板2設(shè)置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,,通過設(shè)置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,,從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,,具有保護電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,,增壓泵16上端與進液管8之間連接有一號排液管17,回流管15內(nèi)部左端設(shè)置有一號電磁閥18,,回流管15與進水管27的形狀均設(shè)計為l型,,通過在增壓泵16下端設(shè)置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,,啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導(dǎo)入到伸縮管9中,,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中,。哪家的蝕刻液性價比比較高?池州BOE蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)
注入量精確調(diào)配裝置通過嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進行原料注入,,工作人員通過負(fù)壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內(nèi),,通過觀察注入量控制容器18內(nèi)的注入量觀察刻度線19對注入量進行精確控制,當(dāng)?shù)竭_設(shè)定的注入量時將限流銷20插入進行限流即可,,很好的對注入量進行精確控制,,提高了該裝置的制備純度。工作原理:首先,,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),,從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護作用,。然后,,通過設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),,利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果,。接著,通過設(shè)置防燙隔膜11,,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性,。緊接著,,通過設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉(zhuǎn)搖勻,,同時設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化,,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,。綿陽天馬用的蝕刻液蝕刻液費用是多少蝕刻液的大概費用大概是多少,?
圖7:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖9:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖,。圖10:本實用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設(shè)備其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖12:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖,。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風(fēng)刀c氣體本實用新型1蝕刻設(shè)備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風(fēng)刀裝置41***風(fēng)刀42第二風(fēng)刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w,、w1,、w2距離。具體實施方式首先,,請參閱圖2與圖3所示,,為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,,其中本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)10適用于一濕式蝕刻機(圖式未標(biāo)示),。
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液,。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫,、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9,。但是,,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書,。技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸,;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物,。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種,。蘇州性價比高的蝕刻液,。
裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件11,,裝置主體1的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉8,,收集倉8的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門7,,過濾部件9的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋24,過濾部件9的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管25,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管27,,連接構(gòu)件11的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸28,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層29,。推薦的,,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,,需要將儲罐進行密封,,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),,有效的提高了裝置使用的密封性,。推薦的,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,,在使用裝置制備蝕刻液的時候,,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時,,操作人員的手會與連接構(gòu)件11接觸,,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài),。深圳鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液
銅蝕刻液的配方是什么,?池州BOE蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)
以及一設(shè)置于基板下方的第二風(fēng)刀,其中***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀分別吹出一氣體至基板,。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中蝕刻設(shè)備可進一步設(shè)置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風(fēng)刀裝置一端而設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的另一端部,。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中擋液板結(jié)構(gòu)與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間,。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中滾輪呈順時針方向轉(zhuǎn)動,,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀下端部的方向移動,。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中氣體遠(yuǎn)離***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀的方向分別與基板的法線方向夾設(shè)有一第三夾角,。如上所述的蝕刻設(shè)備,,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,,為了達到上述實施目的,,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi)運行,;首先,,設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu),其中擋液板結(jié)構(gòu)設(shè)置有復(fù)數(shù)個宣泄孔,;接著,,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過一噴灑裝置進行一藥液噴灑,;接續(xù),,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的風(fēng)刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥,;***,,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄,。如上所述的蝕刻方法。池州BOE蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)