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來源: 發(fā)布時間:2023-10-25

    因此存在開發(fā)蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物,。然而,,為了選擇構成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,,實際情況是,,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題?,F(xiàn)有技術文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術實現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術問題的發(fā)明,,其目的在于,,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力,。此外,,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物,。此外,,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法,。此外,,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,。解決課題的方法為了實現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,,包含磷酸,、硅烷。蝕刻液應用于什么樣的場合,?安慶ITO蝕刻液蝕刻液推薦廠家

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    silane)系偶聯(lián)劑和水,,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外,,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其特征在于,,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以,。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外,,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果,。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖,。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的,、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度,。江化微的蝕刻液蝕刻液哪里買哪家的蝕刻液配方比較好,?

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    將hno3、四甲基氫氧化銨,、h2o2分別投入對應的原料罐,,備用;第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個原料的添加量,,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,,將上述混料充分攪拌,,攪拌時間為3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,,繼續(xù)攪拌混勻,,攪拌時間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環(huán)過濾,。作為推薦的技術方案,,所述磁力泵出口壓力≤,過濾器入口壓力≤,。根據(jù)制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過濾器的入口壓力,,包裝原料可以被充分過濾。作為推薦的技術方案,,所述調(diào)配罐內(nèi)的溫度設定在30~35℃,。調(diào)配罐的溫度不能超過35℃,由于過氧化氫的密度隨溫度的升高而減小,,因此保證交底的反應溫度有助于保證原料體系的穩(wěn)定作為推薦的技術方案,,所述過濾器的微濾膜孔徑為~μm。作為推薦的技術方案,,第三步中各種原料在~,,調(diào)配罐內(nèi)填充氮氣,攪拌速度為30~50r/min,。作為推薦的技術方案,,原料罐和調(diào)配罐大拼配量不超過罐容積的80%。本發(fā)明的優(yōu)點和有益效果在于:本發(fā)明在制備酸性銅蝕刻液的過程中,,用低溫純水(10℃)替代常溫純水(25℃),,將低溫純水加入反應體系中,降低反應體系的反應溫度,。

引線框架的腐蝕是如何生產(chǎn)的呢?引線框架的材料主要是電子銅帶,,常見在引線框架中通過亮鎳,、錫和錫鉛鍍層下進行鍍鎳完成保護金屬材料的目的,在材質(zhì)過程中42合金引線相對來說容易發(fā)生應力-腐蝕引發(fā)的裂紋,。為了保障引線框架的優(yōu)異的導電性和散熱性,,處理方式通過電鍍銀、片式電鍍線,,將引線和基島表面作特殊處理,,這樣能夠保障焊線和引線框架的良好焊接性能。引線框架電鍍銀蝕刻工藝流程主要分:上料-電解除油-活化-預鍍銅-預鍍銀-局部鍍銀-退銀-防銀膠擴散-防銅變色-烘干-收料,。通過該蝕刻工藝流程能夠保障引線框架蝕刻過程中電鍍層的厚度,、光亮度,、粗糙度、潔凈度等,。因此,,蝕刻引線框架對工藝和工廠的管理需要嚴格控制。 哪家公司的蝕刻液的是口碑推薦,?

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    所述液位計7安裝于所述分離器的外表面,。液位計7安裝在方便工作人員查看的位置,有利于提高工作人員工作的效率,。在一個實施例中,,如圖1所示,所述液位開關9為控制閥,,設置于所述濾液出口2處,。控制閥為內(nèi)螺紋截止閥,,通過旋轉(zhuǎn)操縱盤實現(xiàn)閥門的開關,,這種閥結構簡單,維修方便,,工作行程小,,啟閉時間短,使用壽命長,。在一個實施例中,,如圖2所示,所述分離器的側(cè)壁上設有多個視鏡10,。分離器側(cè)壁上設置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計7的工作狀況,。在一個實施例中,如圖1所示,,所述加熱器11為盤管式加熱器,。盤管式加熱器的受熱更加均勻,加熱效率更高,。在一個實施例中,,如圖1所示,所述分離器底部為錐體形狀,。分離器底部設置成錐體形狀更有利于濾液排出,,不會殘留在分離器內(nèi)。以上所述是本實用新型的推薦實施方式,,本實用新型的保護范圍并不局限于上述實施例,,凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出,,對于本技術領域的普通技術人員來說,,在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾,,這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。鋁蝕刻液的配方是什么,?佛山BOE蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹

蝕刻液的類別一般有哪些,。安慶ITO蝕刻液蝕刻液推薦廠家

    本發(fā)明涉及回收處理技術領域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,。背景技術:廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,,所以需要進行回收處理,目前通用的做法是,,使用化學方法回收廢液內(nèi)的銅,,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,工藝落后,,銅回收不徹底,,處理的經(jīng)濟效益不明顯,有二次污染污染物排放,,一旦處理不當往外排放,,勢必對水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊。市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,,不能對蝕刻液進行循環(huán)電解,,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,,進而影響電解池的使用壽命,,并且在回收處理中會產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,也不能在回收結束后對裝置內(nèi)部進行清理,,為此,,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,,以解決上述背景技術中提出的市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,,不能對蝕刻液進行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,。安慶ITO蝕刻液蝕刻液推薦廠家