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步驟一s1:設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu)10,,其中該擋液板結(jié)構(gòu)10設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121,;該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11,、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,,其中該第二擋板12具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿該第二擋板12且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔121,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121呈千鳥(niǎo)排列的直通孔態(tài)樣,,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,,其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面122,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上,、下二端部的壓力。步驟二s2:使用一設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10下方的輸送裝置30輸送一基板20,,以經(jīng)過(guò)一噴灑裝置50進(jìn)行一藥液51噴灑,;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該噴灑裝置50設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,,且該基板20設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的下方約8毫米至15毫米之間,,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對(duì)該基板20進(jìn)行一濕式蝕刻制程,,該擋液板結(jié)構(gòu)10的設(shè)置即是為了避免該噴灑裝置50的藥液51繼續(xù)對(duì)已經(jīng)完成蝕刻步驟的基板20再進(jìn)行蝕刻制程,。蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài)。佛山天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑
當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題;此外,,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,,因此,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,,例如:孔徑a0小于3mm,,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,,而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上,。由上述的實(shí)施說(shuō)明可知,本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相較之下,,本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn),。本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,。江蘇ITO蝕刻液蝕刻液蘇州口碑好的蝕刻液公司。
并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導(dǎo)致該基板20刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì),。該蝕刻設(shè)備1可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置50,,該噴灑裝置50設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,且該基板20設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的下方約8毫米至15毫米之間,,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,,以對(duì)該基板20進(jìn)行一濕式蝕刻制程;由上述的說(shuō)明,,擋液板結(jié)構(gòu)10的設(shè)置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續(xù)對(duì)已經(jīng)完成蝕刻步驟的基板20再進(jìn)行蝕刻制程,,故仍舊會(huì)有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,,以避免該基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生,。該輸送裝置30設(shè)置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,,其中該滾輪31與該基板20接觸以運(yùn)行該基板20,;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖式未標(biāo)示)以驅(qū)動(dòng)該滾輪31轉(zhuǎn)動(dòng),例如:順時(shí)針旋轉(zhuǎn),。
本實(shí)用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,。背景技術(shù):鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備主要包括混合罐、過(guò)濾器和儲(chǔ)存罐,,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,,由過(guò)濾器濾去雜質(zhì)后投入儲(chǔ)存罐中暫存,然后分裝銷(xiāo)售,。以往,,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動(dòng)化技術(shù)的興起,,全自動(dòng)灌裝線(xiàn)在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,,但是,我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車(chē)間面積較小,,無(wú)法放置自動(dòng)灌裝線(xiàn),,所以需要對(duì)現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行改造,以實(shí)現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動(dòng)灌裝,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,,以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題,。為達(dá)前述目的,本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下:鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,,包括混合罐,、過(guò)濾器、數(shù)個(gè)儲(chǔ)存罐,、數(shù)輛液壓升降式拖車(chē)和地磅,,所述混合罐通過(guò)液管與所述過(guò)濾器連接,所述過(guò)濾器的出液口處安裝有氣動(dòng)升降式出液管,,每個(gè)所述儲(chǔ)存罐固定在對(duì)應(yīng)的拖車(chē)頂部,,所述儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口和出液口處安裝有單向液動(dòng)閥,所述地磅位于所述過(guò)濾器的下方,,所述地磅的頂部設(shè)置有將所述拖車(chē)固定的氣動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu),。在本技術(shù)方案中,載有空儲(chǔ)存罐的拖車(chē)置于地磅上方,,過(guò)濾器的出液管自動(dòng)下行插入儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口中,,當(dāng)?shù)匕跛鶞y(cè)得的重量達(dá)到系統(tǒng)預(yù)設(shè)重量時(shí)。蝕刻液的配方是什么,?
所述液體入口1處設(shè)有減壓閥12,,所述蒸汽出口5處設(shè)有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4,,所述除霧組件3用于過(guò)濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,,所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進(jìn)行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進(jìn)行加熱,,達(dá)到閃蒸要求的溫度,,輸送至分離器,通過(guò)減壓閥12減壓,,真空泵13對(duì)分離器內(nèi)抽氣,,使分離器內(nèi)處于低壓狀態(tài),含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,,閃蒸產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,,大液滴中含有銅,,通過(guò)除霧組件3和除沫組件4對(duì)蒸汽進(jìn)行分離過(guò)濾,也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出,,減少產(chǎn)品損失,。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,,所述除霧組件3為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板,。液體在隨著氣體上升時(shí)會(huì)有慣性,,因?yàn)橐后w與氣體的質(zhì)量不同,他們的慣性也不同,,當(dāng)夾帶著液體的氣體以一定速度通過(guò)折流板曲折的通道時(shí),,液體流動(dòng)的方向不斷在曲折的通道中發(fā)生變化,液體的慣性較大,,依舊保持原來(lái)的運(yùn)動(dòng)方向,,從氣體中脫離,撞擊折流板壁面從而被擋下,,氣體則順利通過(guò)折流板通道排出,,被擋下的液體在壁面上匯集成液流,因重力的作用從折流板上流下,。在一個(gè)實(shí)施例中,,如圖1所示,所述除沫組件4為絲網(wǎng),。因?yàn)槌F組件3中的撞擊過(guò)程,。使用蝕刻液需要什么條件。廣東江化微的蝕刻液蝕刻液
哪家的蝕刻液的價(jià)格優(yōu)惠,?佛山天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑
更推薦滿(mǎn)足,。參照?qǐng)D4,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少,。因此,,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿(mǎn)足區(qū)間)即aeff為2以上,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化,。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,,即使沒(méi)有消耗費(fèi)用和時(shí)間的實(shí)際的實(shí)驗(yàn)過(guò)程,,也能夠選擇具有目標(biāo)防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護(hù)對(duì)象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,,e/a)滿(mǎn)足以上以下的范圍的濃度來(lái)添加,。例如,對(duì)于包含氧化物膜(例如,,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準(zhǔn)處理10,000秒的情況下,推薦按照保護(hù)對(duì)象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿(mǎn)足以上以下的范圍的濃度添加,。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過(guò)上述添加劑的aeff值與濃度之積來(lái)計(jì)算,,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來(lái)表示,。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加,。佛山天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑