本發(fā)明涉及玻璃減薄技術領域,,具體涉及一種玻璃減薄設備。背景技術:隨著便攜式電子器件的發(fā)展,,手機,、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板,。為了制造較薄的玻璃基板,,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中,,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間,,使玻璃減薄液與玻璃反應,實現(xiàn)玻璃減薄,。目前的浸泡式減薄法中,,反應產(chǎn)物會懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,,造成不良品,;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,,導致進行減薄后還需要進行拋光處理,,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長時間的研究和實踐終于獲得了本發(fā)明,。技術實現(xiàn)要素:為解決上述技術缺陷,本發(fā)明采用的技術方案在于,,提供一種玻璃減薄設備,,包括蝕刻區(qū),用于對豎直容納在玻璃加工治具中的多個玻璃進行減薄處理,;沖洗區(qū),,用于所述玻璃加工治具上的玻璃進行減薄前清潔和減薄后清潔,;轉換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部,;制動組件。減薄用清洗劑的的參考價格大概是多少,?寧波哪家減薄用清洗劑私人定做
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降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定,,因此,,對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進行清洗,;采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕,,以將待加工部件與托盤分離。具體地,,在完成拋光和減薄后,,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,,40℃的氮氣吹干,。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,,使得待加工部件20和托盤10自動分離,,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法,,還包括:在磁轉子運行一段時間后,,更換磁轉子。如磁轉子12工作1小時后,,可以將磁轉子12更換為新的磁轉子,,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真,。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可,。對于實施例公開的裝置而言,,由于其與實施例公開的方法相對應,所以描述的比較簡單,,相關之處參見方法部分說明即可,。對所公開的實施例的上述說明,。
所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作;具體的,,通過設置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測,,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,,所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進行減薄處理,。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準確地具有目標厚度,;所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區(qū)2中,,并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,,并且使減薄玻璃的缺陷率降至,;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作,;所述第二輔助厚度測量儀設置在所述第三沖洗區(qū)2,,從而在減薄后清洗終完成后,再次進行厚度檢測,,從而檢測預從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運出的玻璃是否符合標準,并進一步降低減薄玻璃的缺陷率,。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例,,對本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的,。本專業(yè)技術人員理解,,在本發(fā)明權利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進行許多改變,修改,,甚至等效,,但都將落入本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。減薄用清洗劑的使用時要注意什么,?
圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖,;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖,;圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖,;圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想,,為使本發(fā)明的上述目的,、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚,、完整地描述,,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,,而不是全部的實施例,。基于本發(fā)明中的實施例,,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,,都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置,,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,,如圖1所示,包括托盤10,、噴頭11和磁轉子12,,當然,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,,托盤10,、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內(nèi)進行拋光和減薄反應。其中,,托盤10,,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,,待加工部件20包括inp基晶圓,。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光,。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好,?江蘇國產(chǎn)減薄用清洗劑批量定制
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較佳的,所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū),、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū),,所述第二沖洗區(qū)設置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間,所述沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉換區(qū)之間,,所述第三沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間,。較佳的,所述沖洗區(qū)設置有輔助厚度測量儀,。較佳的,,所述第三沖洗區(qū)設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉換區(qū)設置為可升降的折疊式結構,。較佳的,,所述轉換區(qū)設置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術比較本發(fā)明的有益效果在于:1,,本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理,,可實現(xiàn)單次多片玻璃減薄,同時避免浸泡式減薄法中反應產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題,;2,,本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產(chǎn)生變化,從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題,;3,,本發(fā)明通過所述側支撐件的固定結構,可實現(xiàn)所述側支撐件的位置調節(jié),,從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理,。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。寧波哪家減薄用清洗劑私人定做