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來源: 發(fā)布時間:2024-03-26

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    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實(shí)時測量玻璃的厚度,,并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器,。所述控制器實(shí)時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度,,則所述控制器停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi),。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動,進(jìn)而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動,,從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸,,提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖,;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖,;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖,;具體的,,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,,所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上,;所述底座41上設(shè)置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,,在玻璃底部提供支撐效果,;所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44,所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置,。浙江清洗效果好的減薄用清洗劑聯(lián)系方式減薄清洗劑,,助您輕松打造高精度產(chǎn)品,,滿足客戶需求。

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    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s,,也就是說,,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后,,控制噴頭噴涂拋光液10s,,停止噴涂拋光液10s后,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s,,以此類推,。本發(fā)明實(shí)施例中,控制部件在脈沖工作模式下,,實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用,,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,,速度快,,控制性好,重復(fù)度高,,無粉塵污染,,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm,。還需要說明的是,,本發(fā)明實(shí)施例中,在減薄的過程中,,可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12,,如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外,本發(fā)明實(shí)施例中,,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,,用di水沖洗干凈,,40℃的氮?dú)獯蹈伞V?,將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可,。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法,,如圖5所示,包括:s101:將待加工部件固定在托盤上,,待加工部件包括inp基晶圓,;可選地。減薄用清洗劑的使用時要注意什么,?

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理,,以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31,。具體的,,當(dāng)所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi),可判斷所述主厚度測量儀32失靈,;在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標(biāo)厚度時,,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi),,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為:s1,,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi),,經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3,,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理;具體的,,在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間,。池州清洗效果好的減薄用清洗劑推薦廠家