圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖,；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖,；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖,。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,，顯然,，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例,?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍,。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,，如圖1所示,，包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然,，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,，托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng),。其中,，托盤(pán)10，可選為石英托盤(pán),，用于固定待加工部件20,，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光,。哪家公司的減薄用清洗劑的品質(zhì)比較好？合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液,，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù),。一般的，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,，所述理論厚度值為具有公差的范圍值,。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器,。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng),。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作,。一般的，從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,，則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無(wú)法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒(méi)有正常執(zhí)行減薄處理,。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報(bào)來(lái)通知管理者,，所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常,。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時(shí)的,。廣東顯示面板用減薄用清洗劑什么價(jià)格專業(yè)減薄用清洗劑,，為您解決生產(chǎn)中的涂層難題。

    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒,，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％,；次氯酸鹽,，體積比為30％～40％,；氫溴酸，體積比為5％～7％,，di水,，體積比50～60％。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,，如圖3所示,，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過(guò)研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,。當(dāng)然,，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中,，可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀,。可選地,，研磨層121為金屬氧化物層,，進(jìn)一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層,?？蛇x地，研磨層121的厚度為10μm,。本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示,，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),，如沿逆時(shí)針或順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，并且,，磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,，以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中,，拋光減薄裝置還包括控制部件,。控制部件與磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,，以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,，控制部件通過(guò)脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,。可選地,，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm,。

    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上,；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),，便于所述固定板423端面的朝向定位,；對(duì)應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí),，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部?jī)?nèi)玻璃的支撐限位,。其中，如圖3所示,，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為,，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,，所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng),。在本實(shí)施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427,。減薄用清洗劑的適用人群有哪些？

    用于實(shí)現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉(zhuǎn)換區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動(dòng),，以及從所述蝕刻區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述轉(zhuǎn)換區(qū)的減薄后移動(dòng),；所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,，所述蝕刻區(qū)包括腔室,、主厚度測(cè)量?jī)x、噴淋組件和控制器,；所述主厚度測(cè)量?jī)x,、所述噴淋組件設(shè)置于所述腔室上，所述噴淋組件在所述腔室中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理,，所述主厚度測(cè)量?jī)x實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,；所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測(cè)量?jī)x,、所述傳輸組件連接,。較佳的，所述噴淋組件包括設(shè)置于所述腔室頂部的噴淋頭,、設(shè)置于所述腔室底部的收集槽,、以及與所述噴淋頭,、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過(guò)所述噴淋頭對(duì)所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實(shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理,，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內(nèi)排出,。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器,、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計(jì)算玻璃厚度的分析器,。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x還包括空氣噴射器,，用于將空氣噴射到玻璃表面,，將被檢測(cè)部位暴露于所述發(fā)射器對(duì)應(yīng)位置。選擇減薄用清洗劑,，輕松應(yīng)對(duì)各種涂層問(wèn)題,，提升工作效率。合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠

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    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對(duì)應(yīng)設(shè)置,，所述連接部433活動(dòng)連接所述支撐條431和所述第二支撐條432，所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,，所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上,。同時(shí)可通過(guò)設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度，如通過(guò)將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上,。較佳的,，所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組，所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙,。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,，所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,，從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,，所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,，所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438，所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,，所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,，對(duì)應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠