來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄,。可選地,，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子,。可選地,，將待加工部件固定在托盤(pán)上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤(pán)上?？蛇x地,，對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗,；采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤(pán)分離,。與現(xiàn)有技術(shù)相比,，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤(pán)固定待加工部件,，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄,，由于減薄過(guò)程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此,，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例,，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。減薄清洗劑,，專為提升產(chǎn)品質(zhì)量而設(shè)計(jì),，讓您的產(chǎn)品更出色,。寧波中芯國(guó)際用減薄用清洗劑銷售公司

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖,；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖,；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖,；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖,。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū),；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū),；4-玻璃加工治具,；31-腔室；32-主厚度測(cè)量?jī)x,；33-噴淋組件,；41-底座；42-支撐架,；43-底支撐件,；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板,；422-側(cè)板,；423-固定板,；424-水平槽,；425-豎直槽；426-固定槽,；427-固定卡塊,；428-定位槽；429-定位孔,；431-支撐條,；432-第二支撐條；433-連接部,；434-接觸部,；435-磁性件,；436-第二磁性件；437-限位孔,；438-限位塊,；439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖,，對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明,。實(shí)施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖,；本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1,、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,，在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。寧波中芯國(guó)際用減薄用清洗劑銷售公司哪里可以買到玻璃清洗劑,；

    銅清洗劑品牌四輝科技系列清洗系列是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣東東莞主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑表面處理劑研磨液拋光設(shè)備東莞市四輝表面處理有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)東莞凈徹供應(yīng)銅光亮劑系列鍍銅光亮劑堿銅清洗劑類別銅光亮劑型號(hào)JC-031主要用途除油執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CAS2016主營(yíng)產(chǎn)品：設(shè)備油污清洗劑金屬除油除銹劑除垢除銹劑水處理殺菌滅藻劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)溫州甌北閥門(mén)酸洗清洗光亮劑主營(yíng)產(chǎn)品：其他化學(xué)試劑工業(yè)用清洗劑其他加工助劑生化試劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價(jià)銅拋光光亮清洗劑是否進(jìn)口否產(chǎn)地液體類別酸性清洗液型號(hào)JPL-809品牌捷普利產(chǎn)品名稱銅光亮清洗劑主營(yíng)產(chǎn)品：五金材料化工產(chǎn)品研發(fā)銷售￥惠州市捷普利電子科技有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)【貽順】供應(yīng)多用途的金屬擦亮劑洗銅水銅擦亮劑產(chǎn)品名稱金屬擦亮劑品牌貽順系列工業(yè)清洗劑是否危險(xiǎn)化學(xué)品是是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州主營(yíng)產(chǎn)品：金屬表面處理劑金屬工藝液工業(yè)用清洗劑信息化學(xué)產(chǎn)品￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價(jià)銅清洗光亮工藝銅怎么洗亮類別酸性清洗液型號(hào)OY-54主要用途銅清洗光亮執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó),。

    通過(guò)旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述連接部433的固定,，避免所述連接部433在振動(dòng)時(shí)發(fā)生脫離等情況,。同時(shí)螺釘?shù)脑O(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸,，便于維修更換,。值得指出的是，為達(dá)到防止所述連接部433脫離的效果,，所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘,，通過(guò)在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件，使所述限位塊438,、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,，即可實(shí)現(xiàn)螺釘?shù)男ЧＫ鼋佑|部434設(shè)置有弧形槽,，玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi),，從而實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43對(duì)玻璃的位置固定。在進(jìn)行減薄或其他加工過(guò)程中,，玻璃通過(guò)所述玻璃加工治具4進(jìn)行移動(dòng)或放置時(shí),，均會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)；同時(shí)在進(jìn)行蝕刻沖刷時(shí),，在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,，易使玻璃產(chǎn)生彎曲，通過(guò)所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置,，可實(shí)現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,，有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,，避免振動(dòng)或沖擊對(duì)玻璃帶來(lái)的損傷；同時(shí)可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng),，使玻璃底部在所述連接部433的限制下進(jìn)行小幅度的移動(dòng),，在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動(dòng),。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好,？

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄,。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),，因此,，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷,?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤(pán)10,。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此,，在其他實(shí)施例中,，待加工部件20和托盤(pán)10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,，該熱板14設(shè)置在托盤(pán)10底部,，用于對(duì)托盤(pán)10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤(pán)10鍵合固定,。具體地,，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠,，然后在托盤(pán)10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,，如az4620光刻膠，之后,，將托盤(pán)10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,，將待加工部件20光刻膠面和托盤(pán)10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下,，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,，鍵合時(shí)間20min,。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,，來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光,。需要說(shuō)明的是。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式,。池州哪里減薄用清洗劑私人定做

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