來對所述待加工表面進(jìn)行減薄,?？蛇x地,，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子,?？蛇x地,，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上,。可選地,，對所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,，還包括：對所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進(jìn)行腐蝕,，以將所述待加工部件與所述托盤分離,。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,，采用托盤固定待加工部件,，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進(jìn)行拋光,，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,，來對所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷,。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,，顯而易見地,，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。減薄清洗劑,，專為提升產(chǎn)品質(zhì)量而設(shè)計(jì),，讓您的產(chǎn)品更出色。寧波中芯國際用減薄用清洗劑銷售公司

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖,；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖,；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖,；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖,；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖,。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū),；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具,；31-腔室,；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件,；41-底座,；42-支撐架；43-底支撐件,；44-側(cè)支撐件,；421-豎直平板；422-側(cè)板,；423-固定板,；424-水平槽；425-豎直槽,；426-固定槽,；427-固定卡塊；428-定位槽,；429-定位孔,；431-支撐條；432-第二支撐條,；433-連接部,；434-接觸部；435-磁性件,；436-第二磁性件,；437-限位孔；438-限位塊,；439-第二限位塊,。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說明,。實(shí)施例一如圖1所示,，圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1,、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,，在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理,。寧波中芯國際用減薄用清洗劑銷售公司哪里可以買到玻璃清洗劑；

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    通過旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,，從而實(shí)現(xiàn)對所述連接部433的固定,，避免所述連接部433在振動(dòng)時(shí)發(fā)生脫離等情況。同時(shí)螺釘?shù)脑O(shè)置,，可實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸,，便于維修更換。值得指出的是,，為達(dá)到防止所述連接部433脫離的效果,，所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘，通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件,，使所述限位塊438,、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接，即可實(shí)現(xiàn)螺釘?shù)男Ч?。所述接觸部434設(shè)置有弧形槽,，玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43對玻璃的位置固定,。在進(jìn)行減薄或其他加工過程中,，玻璃通過所述玻璃加工治具4進(jìn)行移動(dòng)或放置時(shí)，均會(huì)產(chǎn)生振動(dòng),；同時(shí)在進(jìn)行蝕刻沖刷時(shí),，在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃產(chǎn)生彎曲,，通過所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置,，可實(shí)現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐，有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,，避免振動(dòng)或沖擊對玻璃帶來的損傷；同時(shí)可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動(dòng)帶來的振動(dòng),，使玻璃底部在所述連接部433的限制下進(jìn)行小幅度的移動(dòng),，在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動(dòng)。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好,？

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,，用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對待加工表面進(jìn)行減薄,。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷,。可選地,，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10,。當(dāng)然,，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中,，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定,。基于此,，如圖2所示,，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部,，用于對托盤10進(jìn)行加熱,，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,，如az4620光刻膠,，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,，鍵合時(shí)間20min,。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,，來對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光,。需要說明的是。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式,。池州哪里減薄用清洗劑私人定做

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