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過(guò)濾器的出液管自動(dòng)上行離開(kāi)儲(chǔ)存罐,,將裝滿的儲(chǔ)存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動(dòng)至自動(dòng)灌裝車間中,,將灌裝頭的快速接頭插入儲(chǔ)存罐的出液口中便可將儲(chǔ)存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝,。本實(shí)用新型除上述技術(shù)方案外,還包括以下技術(shù)特征:進(jìn)一步的是,,所述地磅的頂部平臺(tái)中設(shè)置有兩條卡塊,,所述卡塊與平臺(tái)之間形成一插槽,;所述氣動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu)包括氣缸和壓緊塊,,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連,。進(jìn)一步的是,,所述拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲(chǔ)存罐外部的護(hù)欄。進(jìn)一步的是,,所述拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,,所述儲(chǔ)存罐安裝在所述集液盒中。進(jìn)一步的是,,所述拖車的頂部于所述儲(chǔ)存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室,。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐,,并采用液壓升降式拖車帶著儲(chǔ)存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動(dòng)灌裝車間之中周轉(zhuǎn),,如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動(dòng)灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,,又降低了企業(yè)的人力成本投入,;2.將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐,在儲(chǔ)存罐內(nèi)在進(jìn)液時(shí),,其它儲(chǔ)存罐可以進(jìn)行定量灌裝,,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案,。蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài),。合肥江化微的蝕刻液蝕刻液報(bào)價(jià)
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種,。本發(fā)明的蝕刻液推薦進(jìn)一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋(píng)果酸,、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種,。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,,所述有機(jī)硫化合物的濃度為%至10重量%,。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%,。另外,,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外,,本發(fā)明的蝕刻液實(shí)質(zhì)上不含氫氟酸及過(guò)氧化氫,因此毒性低,,保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。具體實(shí)施方式本發(fā)明的蝕刻液為含有選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸與選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機(jī)硫化合物的水溶液,。所述酸中,,從蝕刻速度的穩(wěn)定性及酸的低揮發(fā)性的觀點(diǎn)來(lái)看,推薦為硫酸,。酸的濃度并無(wú)特別限制,,推薦為20重量%至70重量%,更推薦為30重量%至60重量%,。在酸的濃度小于20重量%的情況下,,有無(wú)法獲得充分的鈦蝕刻速度的傾向,在超過(guò)70重量%的情況下,,有蝕刻液的安全性成問(wèn)題的傾向,。合肥ITO蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹蘇州哪家公司可以做蝕刻液;
影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素:1,、Cu2+離子濃度的影響:Cu2+是氧化劑,,所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關(guān)系表明:在0~82g/L時(shí),,蝕刻時(shí)間長(zhǎng),;在82~120g/L時(shí),蝕刻速率較低,,且溶液控制困難,;在135~165g/L時(shí),蝕刻速率高且溶液穩(wěn)定,;在165~225g/L時(shí),,溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀,。2,、氯化銨含量的影響:通過(guò)蝕刻再生的化學(xué)反應(yīng)可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有過(guò)量的NH3和NH4Cl存在,,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,,蝕刻速率就會(huì)降低,,以致失去蝕刻能力。所以,,氯化銨的含量對(duì)蝕刻速率影響很大,。隨著蝕刻的進(jìn)行,要不斷補(bǔ)加氯化銨,。
經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會(huì)夾帶著泡沫,,泡沫中還是含有銅元素,為進(jìn)一步提高回收效率,,需對(duì)氣體和泡沫進(jìn)行分離,,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時(shí)會(huì)吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面,細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,,使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點(diǎn),,當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過(guò)氣體的上升力和液體表面張力合力時(shí),液滴就從細(xì)絲上分離下落,,氣體在通過(guò)絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫,。在一個(gè)實(shí)施例中,,如圖1所示,所述分離器設(shè)有液位計(jì)7,、液位開(kāi)關(guān)9,、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會(huì)因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,,產(chǎn)生二次蒸汽,,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,,通過(guò)觀察液位計(jì)7來(lái)使用液位開(kāi)關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定,,保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計(jì)的狀態(tài)下。在一個(gè)實(shí)施例中,,如圖1所示,,所述液位計(jì)7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計(jì)7,,工作人員可以通過(guò)觀察液位計(jì)7知道分離器內(nèi)的工作情況,。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器,在分離器內(nèi)液面處工作,,壓力傳感器8安裝在分離器底部,,有效測(cè)量分離器內(nèi)液壓,。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,。蝕刻液公司的聯(lián)系方式,。
如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,,mm),。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥(niǎo)排列或矩陣排列等其中的一種排列方式,。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中宣泄孔具有一***壁面,,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,,當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),,其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,,為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,,本實(shí)用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi),,蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),、一基板、一輸送裝置,,以及一風(fēng)刀裝置,;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,,輸送裝置包括有至少一滾輪,,其中滾輪與基板接觸以運(yùn)行基板;風(fēng)刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風(fēng)刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風(fēng)刀,。蝕刻液,,適用于多種材料,蝕刻效果好,。上海格林達(dá)蝕刻液訂做價(jià)格
剝離液有水性和溶劑型等不同的區(qū)分,。合肥江化微的蝕刻液蝕刻液報(bào)價(jià)
etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時(shí)能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,,從而完成了本發(fā)明,。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑,、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法,。本發(fā)明中,蝕刻對(duì)象膜可以為氮化物膜,,保護(hù)對(duì)象膜可以為氧化物膜,。此外,本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑,。<蝕刻液組合物>具體而言,,本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水,,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑,。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足,。本發(fā)明中,,各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外,,由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果,,可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足,。合肥江化微的蝕刻液蝕刻液報(bào)價(jià)