技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法，可用于微納制造,，光學(xué)領(lǐng)域,，電學(xué),，生物領(lǐng)域，mems領(lǐng)域,，nems領(lǐng)域,。技術(shù)背景：微納制造技術(shù)是衡量一個(gè)國(guó)家制造水平的重要標(biāo)志,，對(duì)提高人們的生活水平，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng),，保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,，微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器,、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ),。基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一,。對(duì)于納米孔的加工,，常用的手段是先利用曝光負(fù)性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu)，再通過(guò)金屬的沉積和溶膠實(shí)現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔,。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過(guò)程中的散焦及臨近效應(yīng)等會(huì)造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),，這會(huì)造成蒸發(fā)過(guò)程中的掛壁嚴(yán)重從而使lift-off困難。同時(shí)由于我們常用的高分辨的負(fù)膠如hsq,，在去膠的過(guò)程中需要用到危險(xiǎn)的氫氟酸,，而氫氟酸常常會(huì)腐蝕石英，氧化硅等襯底從而影響器件性能,，特別的,，對(duì)于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。 剝離液,，讓您的加工過(guò)程更加高效,。惠州京東方用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

    按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開(kāi)始逐級(jí)由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程,。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20,，在剝離液的水平面超過(guò)預(yù)設(shè)高度后流入過(guò)濾器30，再經(jīng)過(guò)過(guò)濾器30的過(guò)濾將過(guò)濾后的剝離液傳送至下一級(jí)腔室102內(nèi),。其中,，薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,，如圖2所示,，圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開(kāi)關(guān)60設(shè)置在管道40及第二管道50上,。在過(guò)濾器30被阻塞時(shí),，關(guān)閉位于過(guò)濾器30兩側(cè)的管道40及第二管道50上的閥門開(kāi)關(guān)60，可以保證當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20內(nèi)剝離液不會(huì)流出,，同時(shí)下一級(jí)腔室102內(nèi)的剝離液也不會(huì)流出,。在一些實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖3,，圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖,。過(guò)濾器30包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器301,，所述管道40包括多個(gè)子管道401，每一所述子管道401與一子過(guò)濾器301連通,，且所述多個(gè)子管道401與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連通,。在一些實(shí)施例中，第二管道50包括公共子管道501及多個(gè)第二子管道502,，每一所述第二子管道502與一子過(guò)濾器301連通,，每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通，所述公共子管道501與所述下一級(jí)腔室102連通,。其中?；葜菥〇|方用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹國(guó)內(nèi)那里可以買到效果好的剝離液,；

   砷化鎵也有容易被腐蝕的特點(diǎn)，比如堿性的氨水,、酸性的鹽酸,、硫酸、硝酸等,。去膠,，也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,，需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步,。有時(shí)直接采用+異丙醇的方式就可以去除。但是對(duì)于等離子體處理過(guò)的光刻膠,，一般就比較難去除干凈,。有的人把加熱到60℃，雖然去膠效果快了一些,，但是沸點(diǎn)是60℃,，揮發(fā)的特別快，而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險(xiǎn),，因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要,。介紹常見(jiàn)的一款剝離液，該剝離液去膠效果好,，但是對(duì)砷化鎵有輕微腐蝕,，不易長(zhǎng)時(shí)間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同,，但基本上都要加熱,。

    當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器30被薄膜碎屑阻塞后，通過(guò)閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過(guò)濾器30之間的液體流通,，從而可以在閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過(guò)濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無(wú)法繼續(xù),。其中,，腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液；與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,，各級(jí)腔室10分別通過(guò)管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,，存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液；過(guò)濾器30用于過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,，并且過(guò)濾器30還可以通過(guò)管道與下一級(jí)腔室102連接,，從而過(guò)濾器30可以將過(guò)濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,，用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,，具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過(guò)管道連接,，腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,，由存儲(chǔ)箱20來(lái)收集和存儲(chǔ)。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過(guò)濾器30通過(guò)管道連接,，經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過(guò)濾器30過(guò)濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102,。 如何選擇一家好的做剝離液的公司。

    本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,，請(qǐng)參閱圖5,，圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖，該方法包括：步驟110,、將多級(jí)腔室順序排列,，按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液；步驟120,、將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,，所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑；步驟130,、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室,；步驟140、若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門開(kāi)關(guān),；步驟150、取出被阻塞的所述過(guò)濾器,。若過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,，則可以關(guān)閉被阻塞的子過(guò)濾器的閥門，因此,，步驟140還可以包括：若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,，則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門開(kāi)關(guān)。在上述實(shí)施例中,，對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,，某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分,，可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。 哪家公司的剝離液的是口碑推薦,？銅陵天馬用的蝕刻液剝離液主要作用

哪家的剝離液價(jià)格比較低,？惠州京東方用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

    避免接觸皮膚、眼睛和衣服,；存儲(chǔ)：密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護(hù)極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風(fēng)：良好的通風(fēng)措施,，保持良好通風(fēng)人員保護(hù)設(shè)備：橡膠手套、防護(hù)目鏡,，避免接觸皮膚,、眼睛、衣服,、避免吸入蒸汽壓,；9.物理和化學(xué)性能物理測(cè)試：液體顏色：微黃氣味:類氨熔點(diǎn):-24~-23℃沸點(diǎn)：165~204℃閃點(diǎn):110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度：10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑：溶于部分有機(jī)溶劑PH值：10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險(xiǎn)反應(yīng):有機(jī)和無(wú)機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑,、堿金屬、強(qiáng)酸混溶性:強(qiáng)氧化劑和酸不能混溶,，在高溫氣壓下可與二硫化碳反應(yīng)避免條件：熱,、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實(shí)際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸（兔）:8000mg/kgLC50/吸入（鼠）:>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>,?；葜菥〇|方用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹