íatendráunapendientehaciaeldepósitotalquepermitalaevacuacióndeposiblescondensadosycomomínimoéstaseráádisponerdeunaválvuladecierrequeseabrirádeformaautomáticacuandolapresiónseasuperiora50mbaroelvacíósitosdealmacenamientodegasolinatendránundispositivoquepermitarecogerenelcamióncisternalosvaporesdesplazadosduranteelllenadodeestosdepóíadeaspiracióíadeaspiracióntendráundiámetromínimodeunapulgadaymediayestaráprovistadeválvuladeretencióásbajodelaaspiraciónestarásituadoalmenosa15centímetrosporencimadelfondodeldepóíatendrápendientecontinuamínimadel1por100haciaeldepósito,nopermitiéáadmisiblelautilizacióndeelementosflexibles,enlasconexionesentretuberíaytubería。BOE蝕刻液就來蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家

    該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％,、％,。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為二乙二醇單甲醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。湖北技術(shù)密集BOE蝕刻液商家蘇州博洋化學(xué)股份有限公司專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。

    這是除去固體顆粒,、電子流,、水,、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細(xì)清洗中,，經(jīng)常存在裝有凹槽,、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件,，必須用溶劑對其進(jìn)行潤濕，以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用,。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,，其中，所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如,，相對于,，HCFC141b為)。高潤濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥,。在幾乎相同的分子量下,，氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓,。因此，HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰,。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用,，使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥，而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生,。這些機(jī)器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng)，這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化,。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案,。此外,，氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物,。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,，其中R具有14個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。有利地,。

    neutroyconductordeproteccióónentreloselementosdelsurtidor(emisordeimpulsos,solenoides,calculador,etc.),seconsiderasuficientelautilizacióndecableconcubiertaexteriordePVC/policloroprenoresistentealoshidrocarburos,detiponoarmadoyaquealserIP-23comomínimoelgradodeprotecciónmecánicadelsurtidor,encondicionesnormalesdeoperación,noesposibleejerceraccionesmecánicasquepuedanda?ánicos,talescomolaseventualesvibracionesgeneradasporlosequiposrotativosdelsurtidor,sondespreciables,ávibracióánsintensióááneas,cuandoseutilicencablesarmados,serealizaránenzanjasrellenasdearenaoentubosríéreasocuandoseutilicencablesnoarmados,sinprotecciónmecánica,seharáánsinsoldadura,galvanizadointerioryexterior,elroscadodelosmismosdeberácumplirlasexigenciasrelativasaltipodeejecucióátilesomóvilesseráncontubosmetálicosflexibles,corrugados,protegidosexteriormentecontralaoxidacióáncumplirlascondicionesdeltipodeconstruccióncorrespondientesasuejecucióóndeunacanalizacióneléctricadeunazonaaotra,。BOE蝕刻液,，專業(yè)配方，穩(wěn)定可靠，值得信賴,。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高,，對制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測量時,，檢測點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類、％的表面活性劑,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式,。福建介紹BOE蝕刻液圖片

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    除去75重量％的油。在45°C下的簡單加熱,、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油,。此外，沒有觀察到油的溶解,，而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比,，該卷起機(jī)理更為有利,。油溶解試驗(yàn)的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評價組合物中，并測定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示),。實(shí)施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下，溶解超過17重量％的油,。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,，多溶解2重量％的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物,，其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,，在式C4F9OR中，R具有1～4個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。2.權(quán)利要求1的組合物,，特征在于，所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚,。3.權(quán)利要求1或2的組合物,，特征在于，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚,。4.權(quán)利要求13中任一項(xiàng)的組合物,，特征在于。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家