íatendráunapendientehaciaeldepósitotalquepermitalaevacuacióndeposiblescondensadosycomomínimoéstaseráádisponerdeunaválvuladecierrequeseabrirádeformaautomáticacuandolapresiónseasuperiora50mbaroelvacíósitosdealmacenamientodegasolinatendránundispositivoquepermitarecogerenelcamióncisternalosvaporesdesplazadosduranteelllenadodeestosdepóíadeaspiracióíadeaspiracióntendráundiámetromínimodeunapulgadaymediayestaráprovistadeválvuladeretencióásbajodelaaspiraciónestarásituadoalmenosa15centímetrosporencimadelfondodeldepóíatendrápendientecontinuamínimadel1por100haciaeldepósito,nopermitiéáadmisiblelautilizacióndeelementosflexibles,enlasconexionesentretuberíaytubería。BOE蝕刻液就來蘇州博洋化學股份有限公司,。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家

    該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質量的％,、％,。實施例2本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質量的％、％,。實施例3本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1,。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質量的％,、％。實施例4本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1,。添加劑為二乙二醇單甲醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質量的％,、％,。實施例5本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實施例中所含成分及各成分稱取的質量顯示于表1。湖北技術密集BOE蝕刻液商家蘇州博洋化學股份有限公司專業(yè)生產BOE蝕刻液,。

    這是除去固體顆粒,、電子流、水,、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求,。在精細清洗中，經常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復雜的部件,，必須用溶劑對其進行潤濕,，以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,，其中,，所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如，相對于,，HCFC141b為),。高潤濕的另一優(yōu)點是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下,，氟化溶劑具有較低的沸點和較高的蒸氣壓,。因此，HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰,。這兩種性質(低沸點和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機器中的應用,，使得能夠進行部件的漂洗和干燥，而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生,。這些機器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng),，這些機器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點小化。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機器存貨的替代解決方案,。此外,，氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點的組合物,。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,，其中R具有14個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地,。

    neutroyconductordeproteccióónentreloselementosdelsurtidor(emisordeimpulsos,solenoides,calculador,etc.),seconsiderasuficientelautilizacióndecableconcubiertaexteriordePVC/policloroprenoresistentealoshidrocarburos,detiponoarmadoyaquealserIP-23comomínimoelgradodeprotecciónmecánicadelsurtidor,encondicionesnormalesdeoperación,noesposibleejerceraccionesmecánicasquepuedanda?ánicos,talescomolaseventualesvibracionesgeneradasporlosequiposrotativosdelsurtidor,sondespreciables,ávibracióánsintensióááneas,cuandoseutilicencablesarmados,serealizaránenzanjasrellenasdearenaoentubosríéreasocuandoseutilicencablesnoarmados,sinprotecciónmecánica,seharáánsinsoldadura,galvanizadointerioryexterior,elroscadodelosmismosdeberácumplirlasexigenciasrelativasaltipodeejecucióátilesomóvilesseráncontubosmetálicosflexibles,corrugados,protegidosexteriormentecontralaoxidacióáncumplirlascondicionesdeltipodeconstruccióncorrespondientesasuejecucióóndeunacanalizacióneléctricadeunazonaaotra,。BOE蝕刻液，專業(yè)配方,，穩(wěn)定可靠,，值得信賴。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕,。在半導體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小,，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時,，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時,，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類,、％的表面活性劑。進一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。福建介紹BOE蝕刻液圖片

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    除去75重量％的油,。在45°C下的簡單加熱、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應用可以除去所有的沉積油,。此外,，沒有觀察到油的溶解，而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機理(rollingupmechanism)).與快速導致溶劑飽和的溶解機理相比,，該卷起機理更為有利,。油溶解試驗的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評價組合物中，并測定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對于該混合物的百分數(shù)表示),。實施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下,，溶解超過17重量％的油。實施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,，多溶解2重量％的油并且觀察到反混合(demixing),。權利要求組合物，其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,，在式C4F9OR中,，R具有1～4個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。2.權利要求1的組合物，特征在于,，所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚,。3.權利要求1或2的組合物，特征在于,，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚,。4.權利要求13中任一項的組合物，特征在于,。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家