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以往的光刻膠剝離液對(duì)金屬的腐蝕較大,可能進(jìn)入疊層內(nèi)部造成線路減薄,,藥液殘留,,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會(huì)對(duì)疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會(huì)對(duì)晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕,。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,,5~11wt%四甲基氫氧化銨,,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水,。具體的,。華星光電用的哪家的剝離液?合肥格林達(dá)剝離液供應(yīng)商
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述膠面收卷輥通過導(dǎo)線連接,。進(jìn)一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過導(dǎo)線連接,,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導(dǎo)線連接,。進(jìn)一步的,,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm,。進(jìn)一步的,,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,,所述防濺射擋板共有兩塊,,傾斜角度為45°。進(jìn)一步的,,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接,,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。本技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對(duì)印刷品膠面印刷進(jìn)行剝離,,同時(shí)能夠?qū)τ∷⑵纺z面進(jìn)行回收,,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本,。紹興江化微的蝕刻液剝離液銷售電話天馬微電子用哪家剝離液更多,?
高世代面板)表面上,或透入其表面,,而把固體物料潤濕,,剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠,。因此,,本申請(qǐng)中的高世代面板銅制程光刻膠剝離液由酰胺、醇醚,、環(huán)胺與鏈胺,、緩蝕劑、潤濕劑組成,。其中,,酰胺可以為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺,、n,,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,酰胺是用于溶解光刻膠,;n-甲基甲酰胺下面簡稱″nmf″醇醚為二乙二醇丁醚,、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚,、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,,醇醚是用于潤濕、膨潤,、溶解光刻膠的,;二乙二醇丁醚下面簡稱″bdg″。環(huán)胺與鏈胺,,用于滲透,、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力;鏈胺:分子量的大小決定瞬間溶解力,,分子量過大瞬間溶解力小,,光刻膠未被完全溶解;分子量過小,,對(duì)金屬的腐蝕性增強(qiáng),,影響產(chǎn)品質(zhì)量。分子量一般在50g/mol-200g/mol,,鏈胺為乙醇胺,、二乙醇胺、三乙醇胺,、二甘醇胺,、異丙醇胺、甲基二乙醇胺,、amp-95中的任意一種或多種,;環(huán)胺:溶解光刻膠中環(huán)狀結(jié)構(gòu)的樹脂,包括氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種;上述鏈胺與環(huán)胺的比例在4∶1-1∶4之間,。緩蝕劑,,用于降低對(duì)金屬的腐蝕速度,緩蝕劑為三唑類物質(zhì),,具體為苯并三氮唑,、甲基苯并三氮唑中的任意一種。潤濕劑,。
如遇水,,圖案則隨著背膠的脫落而脫落。這種印刷方法是通過滾筒式膠質(zhì)印模把沾在膠面上的油墨轉(zhuǎn)印到紙面上,。由于膠面是平的,,沒有凹下的花紋,所以印出的紙面上的圖案和花紋也是平的,,沒有立體感,,防偽性較差。膠版印刷所需的油墨較少,,模具的制造成本也比凹版低,。目前我國汽車尾氣直接排入空氣中,,并未進(jìn)行回收處理,對(duì)空氣造成了巨大污染,,同時(shí)會(huì)對(duì)人體造成傷害,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路本**技術(shù)的目的就在于為了解決上述問題而提供一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,。哪家公司的剝離液是比較劃算的,?
所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺,、三乙醇胺,、二甘醇胺、異丙醇胺,、甲基二乙醇胺,、amp-95中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種,。技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為三唑類物質(zhì)。的技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑,、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術(shù)方案中,,所述的潤濕劑含有羥基,。技術(shù)方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇,、甘油中的任意一種,。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,,能夠滲透、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力,,能夠快速,、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,,能夠有效地減少接觸角,,增強(qiáng)親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠,。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時(shí)兩者的接觸角對(duì)比圖,。圖2為配方一和配方二的剝離液應(yīng)用是光刻膠的殘留量對(duì)比圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)有技術(shù)中的剝離液其水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,,本申請(qǐng)經(jīng)過大量的試驗(yàn),創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),,在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質(zhì),,通過降低其表面張力或界面張力,,使水能展開在固體物料。性價(jià)比高的剝離液哪里有,;合肥格林達(dá)剝離液供應(yīng)商
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使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;取出被阻塞的所述過濾器。在一些實(shí)施例中,,所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān)包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái),,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱,;過濾器,,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接,;其中,,至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立,,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,,提高生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案,,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,,顯而易見地,下面描述中的附圖**是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例,,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講,。 合肥格林達(dá)剝離液供應(yīng)商