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來源: 發(fā)布時間:2025-04-24

    本申請實施例還提供一種剝離液機(jī)臺的工作方法,請參閱圖5,,圖5為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖,,該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液,;步驟120、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;步驟130、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室,;步驟140,、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,,某個實施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實施例的相關(guān)描述。 蘇州博洋化學(xué)股份有限公司剝離液,;紹興銅鈦蝕刻液剝離液訂做價格

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    該方法包括:步驟110,、將多級腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120,、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130,、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室,;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實施例中,,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關(guān)描述,。以上對本申請實施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,,本文中應(yīng)用了具體個例對本申請的原理及實施方式進(jìn)行了闡述,以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想,;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。江蘇銅鈦蝕刻液剝離液銷售廠家哪家的剝離液配方比較好,?

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剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),,同時防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路、分立器件,、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域,,但整體應(yīng)用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小。剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,,對于剝離液的潔凈度要求較低,,需達(dá)到G1等級,,下游客戶主要要天合、韓華,、通威等,;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2,、G3等級,,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方,、中星光電,;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級,在8英寸及以下的晶圓制造中,,對于剝離液的要求達(dá)到G3,、G4水平,大硅片,、12英寸晶元等產(chǎn)品要達(dá)到G5水平,。

本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線板的制造,、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,,伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液。然而,,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難,、海外的法規(guī)制度的問題,而避免其使用,。近年來,,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1),,由于剝離時的抗蝕劑沒有微細(xì)地粉碎,,因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-323776號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,,提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,,即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,從而完成本發(fā)明,。即,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑,。另外,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材,。哪家公司的剝離液的口碑比較好?

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    圖2為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖3為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖4為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖,。具體實施方式目前剝離液機(jī)臺在工作時,,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機(jī)臺內(nèi)的所有工作單元,,待被阻塞的過濾器被清理后,,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺需頻繁停線以更換過濾器,,極大的降低了生產(chǎn)效率,。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機(jī)臺100的種結(jié)構(gòu)示意圖,。本申請實施例提供一種剝離液機(jī)臺100,,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20,;過濾器30,,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接,;其中,,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖,。當(dāng)當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通,。什么樣的剝離液可以保護(hù)底部金屬,?銅陵京東方用的蝕刻液剝離液供應(yīng)商

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    按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,,濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化學(xué)品,。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純試劑為主,,一般為單組份,、單功能、被大量使用的液體化學(xué)品,,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類,、堿類,、有機(jī)溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸,、硝酸,、鹽酸、硫酸,、磷酸等,;堿類包括氨水、氫氧化鈉,、氫氧化鉀等,;有機(jī)溶劑類包括甲醇、乙醇,、異丙醇,、**、乙酸乙酯等,;其他類包括雙氧水等,。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品,,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,,加入水、有機(jī)溶劑,、螯合劑,、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液,、顯影液,、蝕刻液、清洗液等,。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,,是混合物,它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測,,只能通過應(yīng)用手段來評價其有效性,。 紹興銅鈦蝕刻液剝離液訂做價格