本申請實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,,請參閱圖5,圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,,該方法包括:步驟110,、將多級(jí)腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;步驟120,、將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130,、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室,;步驟140,、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實(shí)施例中,對各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,,某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述。 蘇州博洋化學(xué)股份有限公司剝離液,;紹興銅鈦蝕刻液剝離液訂做價(jià)格
該方法包括:步驟110,、將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液,;步驟120,、將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;步驟130,、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;步驟140,、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實(shí)施例中,,對各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述,。以上對本申請實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對本申請的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想,;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。江蘇銅鈦蝕刻液剝離液銷售廠家哪家的剝離液配方比較好,?
剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時(shí)防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路,、分立器件、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,,下游應(yīng)用領(lǐng)域,但整體應(yīng)用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小,。剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,,需達(dá)到G1等級(jí),,下游客戶主要要天合、韓華,、通威等,;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2,、G3等級(jí),,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方,、中星光電,;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級(jí),在8英寸及以下的晶圓制造中,,對于剝離液的要求達(dá)到G3,、G4水平,大硅片,、12英寸晶元等產(chǎn)品要達(dá)到G5水平,。
本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液,。背景技術(shù)::印刷布線板的制造,、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液,。然而,,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,,而避免其使用,。近年來,,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點(diǎn),還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1),,由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒有微細(xì)地粉碎,,因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點(diǎn)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,,提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,,即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,從而完成本發(fā)明,。即,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑,。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,,其特征在于,,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。哪家公司的剝離液的口碑比較好,?
圖2為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖3為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí),如果過濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,,則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元,,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,,使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過濾器,,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,,圖1為本申請實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖,。本申請實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室10,、每一級(jí)所述腔室10對應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20,;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級(jí)腔室102連接,;其中,,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖,。當(dāng)當(dāng)前級(jí)別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過濾器30之間的液體流通,。什么樣的剝離液可以保護(hù)底部金屬,?銅陵京東方用的蝕刻液剝離液供應(yīng)商
剝離液的正確使用方式;紹興銅鈦蝕刻液剝離液訂做價(jià)格
按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,,濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化學(xué)品,。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純試劑為主,一般為單組份,、單功能,、被大量使用的液體化學(xué)品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類,、堿類,、有機(jī)溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸,、硝酸,、鹽酸、硫酸,、磷酸等,;堿類包括氨水、氫氧化鈉,、氫氧化鉀等,;有機(jī)溶劑類包括甲醇、乙醇,、異丙醇,、**、乙酸乙酯等,;其他類包括雙氧水等,。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品,,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,,加入水、有機(jī)溶劑,、螯合劑,、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液,、顯影液,、蝕刻液、清洗液等,。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,,是混合物,它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測,,只能通過應(yīng)用手段來評(píng)價(jià)其有效性,。 紹興銅鈦蝕刻液剝離液訂做價(jià)格