上??颇偷献灾餮邪l(fā)生產(chǎn)的一款新型電動(dòng)執(zhí)行器助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)智能化
電動(dòng)執(zhí)行器:實(shí)現(xiàn)智能控制的新一代動(dòng)力裝置
電動(dòng)放料閥:化工行業(yè)的新星,提升生產(chǎn)效率與安全性的利器
創(chuàng)新電動(dòng)執(zhí)行器助力工業(yè)自動(dòng)化,,實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)
簡(jiǎn)單介紹電動(dòng)球閥的作用與功效
電動(dòng)執(zhí)行器如何選型及控制方式
電動(dòng)執(zhí)行器選型指南:如何為您的應(yīng)用選擇合適的執(zhí)行器
電動(dòng)執(zhí)行器主要由哪些部分組成
電動(dòng)執(zhí)行器這些知識(shí),,你不能不知道。
電動(dòng)焊接閘閥的維護(hù)保養(yǎng):確保高效運(yùn)轉(zhuǎn)與長(zhǎng)期壽命的關(guān)鍵
利用提升泵將一級(jí)過(guò)濾罐中濾液抽取到攪拌釜內(nèi),;再向攪拌釜中輸入沉淀劑,,如酸性溶液,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦?,即二?jí)線性酚醛樹(shù)脂,,打開(kāi)二級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過(guò)濾罐中,,由其中的過(guò)濾筒過(guò)濾得到二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂,,廢液二級(jí)過(guò)濾罐底部的廢液出口流出,送往剝離成分處理系統(tǒng),。上述過(guò)濾得到的一級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于其他場(chǎng)合,。綜上,,實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻膠樹(shù)脂的充分的回收利用,回收率得到提高,。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖2是過(guò)濾筒的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式如圖1,、圖2所示,,該光刻膠廢剝離液回收裝置,,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過(guò)濾罐,所述過(guò)濾罐的數(shù)量為兩個(gè),,由一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13組成,。所述一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13的進(jìn)料管路15,、14分別與攪拌釜10底部連通,,且進(jìn)料管路15、14上分別設(shè)有電磁閥18,、17,。所述一級(jí)過(guò)濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環(huán)料口7連通,。攪拌釜10頂部另設(shè)有廢剝離液投料口5和功能切換口3,。剝離液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?上海ITO蝕刻液剝離液銷售公司
當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器30被薄膜碎屑阻塞后,,通過(guò)閥門(mén)開(kāi)關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過(guò)濾器30之間的液體流通,,從而可以在閥門(mén)開(kāi)關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過(guò)濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無(wú)法繼續(xù)。其中,,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液,;與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,各級(jí)腔室10分別通過(guò)管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,,存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液,;過(guò)濾器30用于過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,并且過(guò)濾器30還可以通過(guò)管道與下一級(jí)腔室102連接,,從而過(guò)濾器30可以將過(guò)濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102,。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述,。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過(guò)管道連接,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,,由存儲(chǔ)箱20來(lái)收集和存儲(chǔ),。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過(guò)濾器30通過(guò)管道連接,經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過(guò)濾器30過(guò)濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102,。 江蘇中芯國(guó)際用剝離液使用剝離液,,輕松剝離各種材料。
能夠除去抗蝕劑,。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒(méi)有特別限定,,例如,可以舉出在設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件,、將設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件,。需要說(shuō)明的是,,浸漬時(shí),可以搖動(dòng)基材,,或?qū)Ρ景l(fā)明剝離液施加超聲波,。抗蝕劑的種類沒(méi)有特別限定,,可以是例如干膜抗蝕劑,、液體抗蝕劑等中的任一種。干膜抗蝕劑的種類也沒(méi)有特別限定,,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑,。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,例如,,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會(huì)社制)等,。施加抗蝕劑的基材沒(méi)有特別限定,例如,,可以舉出印刷布線板,、半導(dǎo)體基板、平板顯示器,、引線框中使用的各種金屬,、合金所形成的、薄膜,、基板,、部件等。按照上述方式本發(fā)明剝離液能夠從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑,,因此能夠在包括除去這樣的抗蝕劑的工序的印刷布線板,、半導(dǎo)體基板、平板顯示器,、引線框等的制造方法中使用,。上述制造方法之中推薦包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板的制造方法,特別推薦基于半加成法的印刷布線板的制造方法,。本發(fā)明剝離液能夠除去的線/間距(l/s)沒(méi)有特別限定,。
本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,,電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來(lái)越高。在這種小型化趨勢(shì)的推動(dòng)下,,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,,立體空間大,,引線距離短,,信號(hào)傳輸快,所以能夠更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化,。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式,。疊層晶圓在制造的過(guò)程中會(huì)對(duì)**外層的晶圓表面進(jìn)行顯影蝕刻,當(dāng)中會(huì)用到光刻膠剝離液,。剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區(qū)分,。
濕電子化學(xué)品位于電子信息產(chǎn)業(yè)偏中上游的材料領(lǐng)域。濕電子化學(xué)品上游是基 礎(chǔ)化工產(chǎn)品,,下游是電子信息產(chǎn)業(yè)(信息通訊,、消費(fèi)電子、家用電器,、汽車電子,、 LED、平板顯示,、太陽(yáng)能電池,、**等領(lǐng)域)。濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)工藝主要采用物 理的提純技術(shù)及混配技術(shù),,將工業(yè)級(jí)的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W(xué)試劑,,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學(xué)試劑。濕電子化學(xué)品行業(yè)是精細(xì)化工和電 子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點(diǎn),,具有品種多、 質(zhì)量要求高,、對(duì)環(huán)境潔凈度要求苛刻,、產(chǎn)品更新?lián)Q代快、產(chǎn)品附加值高,、資金投入 量大等特點(diǎn),,是化工領(lǐng)域相當(dāng)有發(fā)展前景的領(lǐng)域之一。剝離液是一種用去去除光刻膠的化學(xué)品,。深圳格林達(dá)剝離液銷售公司
剝離液中加入添加劑可保護(hù)金屬層,;上海ITO蝕刻液剝離液銷售公司
需要說(shuō)明的是,本發(fā)明剝離液中,,推薦*由上述成分構(gòu)成,,但只要不阻礙本發(fā)明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系,、硅系的消泡劑等其它成分,。以上說(shuō)明的本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分溶于水中來(lái)制備。需要說(shuō)明的是,本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒(méi)有特別限定,,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,,因此沒(méi)有特別必要調(diào)整ph。另外,,本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分分別分開(kāi)預(yù)先溶于水,,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來(lái)制備,。具體來(lái)說(shuō),,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件,、進(jìn)而在其中使上述其它成分適當(dāng)含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等,。通過(guò)使用本發(fā)明剝離液對(duì)施加有抗蝕劑的基材進(jìn)行處理,抗蝕劑被細(xì)小地粉碎,。上海ITO蝕刻液剝離液銷售公司