本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高,，對制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測量時,，檢測點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類,、％的表面活性劑。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。蘇州博洋專業(yè)生產(chǎn),BOE蝕刻液。江西介紹BOE蝕刻液按需定制

    這是除去固體顆粒,、電子流,、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求,。在精細(xì)清洗中,，經(jīng)常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件,，必須用溶劑對其進(jìn)行潤濕,，以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,，其中,，所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如，相對于,，HCFC141b為),。高潤濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下,，氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓,。因此，HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰,。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用,，使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥，而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生,。這些機(jī)器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng),，這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案,。此外,，氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物,。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,，其中R具有14個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。有利地。江西無機(jī)BOE蝕刻液生產(chǎn)好的BOE蝕刻液的標(biāo)準(zhǔn)是什么,。

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    形成氣液混合體，從擴(kuò)散管22排出又進(jìn)入到再生液調(diào)配缸3,。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液,，蝕刻廢液量1000m3/d，相比沒有使用本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),，能耗節(jié)約40％,，節(jié)約使用藥品100kg/d，經(jīng)濟(jì)效益提高30％,。作為本實(shí)施例的一個示例,，電解槽1的陽極可選用石墨電極，陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,，電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm,，電解槽1的電流密度為300a/m2。與實(shí)施例相結(jié)合,，圖2示出了本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),，在實(shí)施例的基礎(chǔ)上，第二實(shí)施例進(jìn)一步包括曝氣裝置5,，曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中,，用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌，以提高整個系統(tǒng)的工作效率,。進(jìn)一步地,，與上述、第二實(shí)施例相結(jié)合,，酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉,、鹽酸并攪拌均勻,，然后再打入到子液桶，實(shí)現(xiàn)再生液循環(huán)利用,。以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,，并不用以限制本實(shí)用新型,，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi),。質(zhì)量好的BOE蝕刻液的公司聯(lián)系方式。安徽工業(yè)級BOE蝕刻液推薦貨源

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