所述的磷酸濃度為82-87％。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，醇醚類的含量為％,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，表面活性劑的含量為％,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚,、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚,、二乙二醇丁醚,、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚,、三甘醇單丁醚等中的至少一種,；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10,、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進(jìn)一步地,，在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),，蝕刻溫度為152-165℃，蝕刻時(shí)間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，改善了磷酸的浸潤性和表面張力,，明顯提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為),。蝕刻液配制完成后，先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力,；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,，采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅褂媒佑|角測量儀檢測蝕刻液對(duì)氮化硅層的接觸角大小,。在蝕刻前,，使用橢圓偏振光譜儀對(duì)氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測量。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,，專業(yè)的BOE蝕刻液生產(chǎn)商,。湖南一種BOE蝕刻液生產(chǎn)

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