其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中,；液體泵,，其一端通過(guò)管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,，另一端通過(guò)管道連接所述射流器的進(jìn)液口，用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過(guò)所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口,。進(jìn)一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置，用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌,。進(jìn)一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過(guò)所述再生液調(diào)配缸處理過(guò)的電解后液中加入氯化鈉,、鹽酸并攪拌均勻,。更進(jìn)一步地，所述電解槽的陽(yáng)極為石墨電極,，陰極為鈦或鈦合金板狀電極,。更進(jìn)一步地，所述電解槽中陰極與陽(yáng)極之間的距離為55mm,。更進(jìn)一步地,，所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了電解后廢液的再生利用,，可節(jié)約能耗和藥品,，提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖,；圖2是本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖,。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解,。專業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供,。湖南應(yīng)用BOE蝕刻液私人定做

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來(lái)越小,，集成度越來(lái)越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類,、％的表面活性劑。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

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    可通過(guò)蒸發(fā)或蒸餾或者通過(guò)對(duì)比給定溫度下的泡點(diǎn)或的蒸氣壓來(lái)實(shí)施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的,，以使組合物再生,，例如當(dāng)其飽和有污染物的時(shí)候。簡(jiǎn)單蒸餾可回收初的共沸組合物,，而沒(méi)有各組分的任何分餾,。而且，2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點(diǎn),。因此,，半纖維素多糖是含有5個(gè)碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時(shí),，得到戊糖(含有5個(gè)碳原子的糖),，例如木糖。當(dāng)進(jìn)行木糖的熱脫水時(shí),，該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛,。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外，根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn)，閉杯閃點(diǎn)高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑,。它們也可用作發(fā)泡劑,。實(shí)驗(yàn)部分實(shí)施例1通過(guò)使用沸點(diǎn)測(cè)定技術(shù)測(cè)量液體混合物的沸點(diǎn)。首先,，將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點(diǎn)測(cè)定儀中,，然后，使其沸騰,。在達(dá)到平衡狀態(tài)之后,，記錄在大氣壓下的沸點(diǎn)。然后,，將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點(diǎn)測(cè)定儀中并且在已達(dá)到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度,。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。BOE蝕刻液應(yīng)用于什么樣的場(chǎng)合,？上海電子級(jí)BOE蝕刻液銷(xiāo)售廠

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