siendolaresultantemíósitosdeberáserarenasilíceayestarlavada,limpia,secayexentadearcillas,limos,componentesdeazufreydecualquierotrasustanciaquepuedaatacarquímicamentealosmaterialesdeldepósito;eltama?odelosgranosdearenaestarácomprendidoentre0,1y2milíánecesarialainstalacióndecubeto,circunstanciaquedeberááticoenlaexcavacióndealojamientodetanquesseconstruirááeldepósitoparaimpedirquevacíoseeleveomuevaencasodeinmersióóndeldepósitoalasoleraseefectuarádeformaquelapresiónejercidasobreelrevestimientoprotectornopuedada?arlo,yaseaenelmomentodesucolocación,yaseaencasodeflotacióándepletinadeacerodeseismilímetrosdeespesorcomomíáunfieltroomaterialanálogo,inalterablealentornoqueimpidaquelosflejesda?enelrevestimientodeldepóálicasdeestafijaciónestánprotegidascontralacorrosióósitosserealizarácomosedescribeenel,。BOE蝕刻液適用于什么半導(dǎo)體什么制程,;湖南如何發(fā)展BOE蝕刻液訂做價格
名稱:含有全氟丁基醚的組合物的制作方法含有全氟丁基醚的組合物本發(fā)明涉及共沸或共沸型的全氟丁基醚混合物或組合物,。更具體地說,本發(fā)明的一個主題是包含至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,。地球大氣阻擋了來自于地球的IR發(fā)射,,這是導(dǎo)致溫室效應(yīng)和有利于生命的適度溫度的原因。在大氣中,,主要是二氧化碳0)2導(dǎo)致這種自然界的溫室效應(yīng),。人類排放的某些氣體(包括來自化石燃料的co2)增強(qiáng)了該效應(yīng),導(dǎo)致全球變暖及其對于氣候的影響暴風(fēng)雨,、洪水,、浮冰表面積的變化和冰)I丨消退。京都議定書(1997)的目標(biāo)是相對于1990年(基準(zhǔn)年),,在20082012年的承諾期間內(nèi),使6種溫室氣體(C02,、CH4,、N20,、HFC、PFC,、SF6)的全球排放減少5%,。給定產(chǎn)物的溫室效應(yīng)通過其GWP(全球變暖潛勢)量化,所述GWP不僅考慮了分子對輻射吸收的固有作用而且還考慮了分子在大氣中的壽命(或者等同于相同的特征,,如在給定時期(通常為1個世紀(jì))內(nèi)的該分子的濃度),。所述GWP相對于作為參比氣體的C02全A屮圣口田O氟化溶劑長期用于高技術(shù)工業(yè)(例如電子、航空,、精密機(jī)械或醫(yī)藥部門)。在這些領(lǐng)域中,,目標(biāo)總是相同的,,即獲得非常高清潔度的表面。河南無機(jī)BOE蝕刻液按需定制BOE蝕刻液,,輕松應(yīng)對各種復(fù)雜蝕刻需求,。
JUANMANUELEGUIAGARAYUCELAYANEXO1InstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04INSTALACIONESFIJASPARADISTRIBUCIóNALPORMENORDECARBURANTESYCOMBUSTIBLESPETROLíFEROSENINSTALACIONESDEVENTAALPúBLICOCAPITULOIIntroduccióónTécnicatieneporobjetoestablecerlasprescripcionestécnicasalasquehandeajustarselasinstalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúóónTécnicaComplementariaseaplicaráalasnuevasinstalacionesfijasparalaventaalpúblicodecarburantesycombustiblespetrolíferos,quesedefinenacontinuaciónasí(ES):Seentiendeporestacióndeservicioaquellainstalacióndestinadaalaventaalpúblicodegasolinas,gasóleosylubricantesquedistribuyatresomásproductosdiferentesdegasolinasygasóleosdeautomoción,deberádisponerdelosaparatosnecesariosparaelsuministrodeaguayaire,ubicadosdentrodelrecintodelainstalació(US):Seentiendeporunidadesdesuministroaquellainstalacióndeventaalpúblicodegasolinas。
本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,,來改善磷酸的浸潤性和表面張力,,使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,,一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來越小,,集成度越來越高,對制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高,,如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時,晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測量時,,檢測點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸,、%的醇醚類、%的表面活性劑,。進(jìn)一步地,,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液,。
íatendráunapendientehaciaeldepósitotalquepermitalaevacuacióndeposiblescondensadosycomomínimoéstaseráádisponerdeunaválvuladecierrequeseabrirádeformaautomáticacuandolapresiónseasuperiora50mbaroelvacíósitosdealmacenamientodegasolinatendránundispositivoquepermitarecogerenelcamióncisternalosvaporesdesplazadosduranteelllenadodeestosdepóíadeaspiracióíadeaspiracióntendráundiámetromínimodeunapulgadaymediayestaráprovistadeválvuladeretencióásbajodelaaspiraciónestarásituadoalmenosa15centímetrosporencimadelfondodeldepóíatendrápendientecontinuamínimadel1por100haciaeldepósito,nopermitiéáadmisiblelautilizacióndeelementosflexibles,enlasconexionesentretuberíaytubería,。蘇州博洋化學(xué)股份專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。湖南如何發(fā)展BOE蝕刻液訂做價格
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除去75重量%的油。在45°C下的簡單加熱,、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油,。此外,沒有觀察到油的溶解,,而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比,,該卷起機(jī)理更為有利。油溶解試驗(yàn)的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評價組合物中,,并測定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示),。實(shí)施例5在使用%的九氟丁基乙基醚和%的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下,溶解超過17重量%的油,。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,,多溶解2重量%的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物,,其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,,在式C4F9OR中,R具有1~4個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。2.權(quán)利要求1的組合物,,特征在于,,所述組合物包含540重量%的甲基四氫呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.權(quán)利要求1或2的組合物,,特征在于,,所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.權(quán)利要求13中任一項的組合物,,特征在于,。湖南如何發(fā)展BOE蝕刻液訂做價格