然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后,，放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻,；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點(diǎn)的厚度進(jìn)行測量,，計(jì)算蝕刻前后6個取點(diǎn)的厚度差值，對比6個點(diǎn)之間的厚度差值的差異,。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性,。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,，進(jìn)一步闡述本發(fā)明,，對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明，但不限于這些實(shí)施例,。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％,，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時間為10min,。先對所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測,，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅M(jìn)行接觸角的測量,；蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，在氮化硅樣片上?個不同位置的點(diǎn)對其厚度進(jìn)行測量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，取與蝕刻前相同位置的6個點(diǎn)進(jìn)行厚度測量,。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中,。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司使命必達(dá)。河南專業(yè)BOE蝕刻液價格

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