conunanormaeuropeaENoconunarecomendaciónCEIparaalgunosdelosmodosdeprotecciónsiguientes:1.oInmersiónenaceite?o?.2.oSobrepresióninterna?p?.3.oRellenopulverulento?q?.4.oEnvolventeantideflagrante?d?.5.oSeguridadaumentada?e?.6.oSeguridadintrínseca?i?.7.oEncapsulado?m?.orespaldadosporcertificadosdecontrolparaotrosmodosdeprotecciónaúnnonormalizadosenEspa?a,comoporejemplo:aparatosparazona2,tipo?n?,yaparatoseléctricosconmodosdeproteccióóódigodemarcadoserá?s?.Esmuyimportantetenerencuentaqueauncuandoatítuloindividualcualquiermaterialeléctricodispongadeloscertificadoscorrespondientes,perovayanposteriormentemontadosyformandopartedeunconjuntooequipoconcreto,dichoscertificadosnoseránválidos;anoserqueseinstalendeacuerdoconlasnormas,criterios,prescripcionesyrecomendacionesexigidasparaeláreadeinstalacióáuncertificadoglobalparacadaaparato,dondeseincluyenloscertificadosdeconformidaddecadaunodeloscomponenteseléctricos,。BOE蝕刻液,，助您打造精美絕倫的蝕刻作品。安徽專業(yè)BOE蝕刻液銷售廠家

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    sedispondrándispositivosdecorteporintensidaddedefecto,medianteinterruptoresdiferenciales,consensibilidadmáóncontraelectricidadestática,deberárealizarseunauniónequipotencialdemasas,ánestarconectadasaestared,tanquesdealmacenamiento,tuberías,estructurasmetálicas,aparatossurtidores,asícomolosconductoresdeproteccióndelosaparatoseléé)Cuadrogeneraleléctrico:ElgradodeprotecciónmínimoserádeIP237,segú)únelReglamentoElectrotécnicodeBajaTensióneICcorrespondientes,laaparamentaaincluirenelcuadroconstará:1.oInterruptorautomá.oInterruptoresautomáticos(PIA)paraproteccióndelí.oInterruptoresdiferencialesparalaproteccióóánunsistemadepuestaatierradelascisternasdeloscamiones,paradescargarlaelectricidadestáácompuestocomosigue:Uncableconectadoporunextremoalareddepuestaatierra,elotroextremoprovistodeunapinzaseconectaráaunterminalsituadoenelvehículoeníáextraflexibleconaislamiento,。

    添加劑為二乙二醇單甲醚,、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，添加量分別為％,、％、％,。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,、％,。對照例對照例中所含成分顯示于表1，并采用與實施例相同的方法進(jìn)行處理,。對照例1為純磷酸,，總質(zhì)量為400g,。對照例2為磷酸、丙二醇丁醚,，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％。對照例3為磷酸,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％。結(jié)果如表2所示,，與對照例蝕刻液相比,，實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性,。表1表2顯然,，上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例，而并非對實施方式的限制,。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉,。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi),。蘇州博洋專業(yè)生產(chǎn),BOE蝕刻液。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻,，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小,，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時,，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點的厚度測量時,，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類,、％的表面活性劑,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。好的BOE蝕刻液的標(biāo)準(zhǔn)是什么,。江西電子級BOE蝕刻液主要作用

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