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作者:[195p4r] 發(fā)布時間:[2024-05-24 02:51:14]

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難熔金屬及其氮化物如W、Ti/TiN,、Ta/TaN 等,,由于其良好的導(dǎo)電性、熱穩(wěn)定性等優(yōu)點被視為理想的阻擋層材料,。芯片截面金屬及其氮化物的復(fù)合結(jié)構(gòu),,如Ti/TiN,、Ta/TaN 等結(jié)構(gòu)更為致密,對銅離子的阻擋效果更好,,在阻擋層上通過PVD 沉積一層薄Cu 作為電鍍的籽晶層,,然后再進(jìn)行厚銅電鍍。

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t的單值函數(shù),,通過測量熱勢的量值,,即可求出所測量的溫度t。如果熱電偶采用均質(zhì)導(dǎo)體制作而成,,其熱電勢只與其兩端的溫度有關(guān),如果熱電極材料并非均勻的,,而熱電極在溫度梯度場中,,這樣,熱電偶就會生成一個額外的附加熱電勢,,大小是由沿著熱電極長度的溫差階梯分布狀態(tài)所決定的,,材料的不均勻性和不均勻程度以及熱點勢在溫度場中的位置相關(guān)。不穩(wěn)定性是指熱電偶分值隨著分度值使用時間和使用條件不同而引起的變化,。

下面介紹的內(nèi)容將是一個極為簡單的功率確定的經(jīng)驗的方法例如:對于一個圓形爐膛【爐膛形狀根據(jù)要求可制造成各型各異的,,如方形、橢圓,、異性等等】來說,,首先要計算出爐膽部分內(nèi)表面積。