半導(dǎo)體集成電路
應(yīng)用場(chǎng)景:
晶圓制造:正性膠為主(如ArF/EUV膠),,實(shí)現(xiàn)20nm以下線寬,,用于晶體管柵極、接觸孔等精細(xì)結(jié)構(gòu),;
封裝工藝:負(fù)性膠用于凸點(diǎn)(Bump)制造,,厚膠(5-50μm)耐電鍍?nèi)芤焊g。
關(guān)鍵要求:高分辨率,、低缺陷率,、耐極端工藝(如150℃以上高溫、等離子體轟擊),。
印刷電路板(PCB)
應(yīng)用場(chǎng)景:
線路成像:負(fù)性膠(如環(huán)化橡膠膠)用于雙面板/多層板外層線路,,線寬≥50μm,耐堿性蝕刻液(如氯化銅),;
阻焊層:厚負(fù)性膠(50-100μm)覆蓋非焊盤(pán)區(qū)域,,耐260℃焊接溫度和助焊劑腐蝕,;
撓性PCB(FPC):正性膠用于精細(xì)線路(線寬≤20μm),需耐彎曲應(yīng)力,。
優(yōu)勢(shì):工藝簡(jiǎn)單,、成本低,適合大面積基板(如1.2m×1.0m的PCB基板),。
平板顯示
應(yīng)用場(chǎng)景:
彩色濾光片:正性膠制作黑矩陣(BM)和RGB色阻間隔層,,耐UV固化和濕法蝕刻(如HF溶液);
OLED像素定義:負(fù)性膠形成像素開(kāi)口(孔徑5-50μm),,耐有機(jī)溶劑(如OLED蒸鍍前的清洗液),;
觸控面板:正性膠制作透明電極(如ITO線路),線寬≤10μm,,需透光率>90%,。
關(guān)鍵參數(shù):高透光性、低收縮率(避免圖案變形),。
感光膠的工藝和應(yīng)用,。沈陽(yáng)制版光刻膠感光膠
綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟(jì)
公司采用水性光刻膠技術(shù),溶劑揮發(fā)量較傳統(tǒng)產(chǎn)品降低60%,,符合歐盟REACH法規(guī)和國(guó)內(nèi)環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),,其光刻膠廢液回收項(xiàng)目已投產(chǎn),,通過(guò)膜分離+精餾技術(shù)實(shí)現(xiàn)90%溶劑循環(huán)利用,年減排VOCs(揮發(fā)性有機(jī)物)超100噸,。
低碳供應(yīng)鏈管理
吉田半導(dǎo)體與上游供應(yīng)商合作開(kāi)發(fā)生物基樹(shù)脂,,部分產(chǎn)品采用可再生原料(如植物基丙烯酸酯),碳排放強(qiáng)度較傳統(tǒng)工藝降低30%,。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車(chē)領(lǐng)域獲得客戶(hù)青睞,,相關(guān)訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%。
常州納米壓印光刻膠生產(chǎn)廠家負(fù)性光刻膠生產(chǎn)廠家,。
定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后,,曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形,。與負(fù)性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,,其優(yōu)勢(shì)是分辨率高、圖案邊緣清晰,,是半導(dǎo)體制造(尤其是制程)的主流選擇,。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
樹(shù)脂(成膜劑):
傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹(shù)脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,光敏劑)**的復(fù)合體系(PAC體系),,占比約80%-90%,。
化學(xué)增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹(shù)脂或含氟聚合物,搭配光酸發(fā)生器(PAG),通過(guò)酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率,。
溶劑:溶解樹(shù)脂和感光劑,,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯。
添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性),、穩(wěn)定劑(防止暗反應(yīng)),、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等。
工作原理
曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹(shù)脂結(jié)合,,形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物,。
曝光時(shí):
傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,,生成羧酸,,使曝光區(qū)域樹(shù)脂在堿性顯影液中溶解性增強(qiáng)。
化學(xué)增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,,催化樹(shù)脂發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng),,大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上)。
顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,,未曝光區(qū)域保留,,形成正性圖案。
吉田半導(dǎo)體納米壓印光刻膠 JT-2000:國(guó)產(chǎn)技術(shù)突破耐高溫極限
自主研發(fā) JT-2000 納米壓印光刻膠耐受 250℃高溫,,為國(guó)產(chǎn)納米器件制造提供關(guān)鍵材料,。吉田半導(dǎo)體 JT-2000 納米壓印光刻膠采用國(guó)產(chǎn)交聯(lián)樹(shù)脂,在 250℃高溫下仍保持圖形保真度 > 95%,。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與全自動(dòng)化工藝,,其高粘接強(qiáng)度與耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿特性,適用于光學(xué)元件,、傳感器等精密器件,。產(chǎn)品已通過(guò)國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)驗(yàn)證,應(yīng)用于國(guó)產(chǎn) EUV 光刻機(jī)前道工藝,,幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)加工自主化,。
松山湖光刻膠廠家吉田,23 年經(jīng)驗(yàn) + 全自動(dòng)化產(chǎn)線,,支持納米壓印光刻膠定制,!
吉田半導(dǎo)體 YK-300 正性光刻膠:半導(dǎo)體芯片制造的材料
YK-300 正性光刻膠以高分辨率與耐蝕刻性,成為 45nm 及以上制程的理想選擇,。
YK-300 正性光刻膠分辨率達(dá) 0.35μm,,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,適用于半導(dǎo)體芯片前道工藝,。其耐溶劑性與絕緣阻抗性能突出,,在顯影與蝕刻過(guò)程中保持圖形穩(wěn)定性,。產(chǎn)品已通過(guò)中芯國(guó)際量產(chǎn)驗(yàn)證,良率達(dá) 98% 以上,,生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行 ISO9001 標(biāo)準(zhǔn),,幫助客戶(hù)降低封裝成本 20% 以上。支持小批量試產(chǎn)與定制化需求,,為國(guó)產(chǎn)芯片制造提供穩(wěn)定材料支撐,。
厚板光刻膠 JT-3001,抗深蝕刻,,PCB 電路板制造Preferred,!武漢阻焊油墨光刻膠多少錢(qián)
吉田公司以無(wú)鹵無(wú)鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠。沈陽(yáng)制版光刻膠感光膠
光刻膠的工作原理:
1. 涂覆與曝光:在基底(如硅片,、玻璃,、聚合物)表面均勻涂覆光刻膠,通過(guò)掩膜(或直接電子束掃描)對(duì)特定區(qū)域曝光,。
2. 化學(xué)變化:曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)(正性膠曝光后溶解,,負(fù)性膠曝光后交聯(lián)不溶)。
3. 顯影與刻蝕:溶解未反應(yīng)的部分,,留下圖案化的膠層,,作為后續(xù)刻蝕或沉積的掩模,將圖案轉(zhuǎn)移到基底上,。
在納米技術(shù)中,,關(guān)鍵挑戰(zhàn)是突破光的衍射極限(λ/2),因此需依賴(lài)高能束曝光技術(shù)(如電子束光刻,、極紫外EUV光刻)和高性能光刻膠(高分辨率、低缺陷),。
沈陽(yáng)制版光刻膠感光膠