國產替代進程加速
日本信越化學因地震導致KrF光刻膠產能受限后,國內企業(yè)加速驗證本土產品,。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產線2024年12月獲兩家大廠百萬大單,,二期300噸生產線在建。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數(shù)接近日本UV1610,,已通過中芯國際14nm工藝驗證,。預計到2025年,國內KrF/ArF光刻膠國產化率將從不足5%提升至10%,。
原材料國產化突破
光刻膠樹脂占成本50%-60%,,八億時空的光刻膠樹脂產線預計2025年實現(xiàn)百噸級量產,其產品純度達到99.999%,,金屬雜質含量低于1ppb,。怡達股份作為全球電子級PM溶劑前段(市占率超40%),與南大光電合作開發(fā)配套溶劑,,打破了日本關東化學的壟斷,。這些進展使光刻膠生產成本降低約20%。
供應鏈風險緩解
合肥海關通過“空中專線”保障光刻膠運輸,,將進口周期從28天縮短至17天,,碳排放減少18%。國內在建12座光刻膠工廠(占全球總數(shù)58%),,預計2025年產能達3000噸/年,,較2023年增長150%。
光刻膠新興及擴展應用,。沈陽油性光刻膠國產廠家
關鍵應用領域
半導體制造:
在晶圓表面涂覆光刻膠,,通過掩膜曝光、顯影,,刻蝕出晶體管,、電路等納米級結構(如EUV光刻膠用于7nm以下制程),。
印刷電路板(PCB):
保護電路圖形或作為蝕刻抗蝕層,制作線路和焊盤,。
顯示面板(LCD/OLED):
用于制備彩色濾光片,、電極圖案等。
微機電系統(tǒng)(MEMS):
加工微結構(如傳感器,、執(zhí)行器),。
工作原理(以正性膠為例)
1. 涂膠:在基材(如硅片)表面均勻旋涂光刻膠,烘干形成薄膜,。
2. 曝光:通過掩膜版,,用特定波長光線照射,曝光區(qū)域的光敏劑分解,,使樹脂變得易溶于顯影液,。
3. 顯影:用顯影液溶解曝光區(qū)域,留下未曝光的光刻膠圖案,,作為后續(xù)刻蝕或離子注入的掩蔽層,。
4. 后續(xù)工藝:刻蝕基材(保留未被光刻膠保護的區(qū)域),或去除光刻膠(剝離工藝),。
蘇州油墨光刻膠品牌感光膠的工藝和應用,。
納米壓印光刻膠
微納光學器件制造:制作衍射光學元件、微透鏡陣列等微納光學器件時,,納米壓印光刻膠可實現(xiàn)高精度的微納結構復制,。通過納米壓印技術,將模板上的微納圖案轉移到光刻膠上,,再經(jīng)過后續(xù)處理,,可制造出具有特定光學性能的微納光學器件,應用于光通信,、光學成像等領域,。
生物芯片制造:在 DNA 芯片、蛋白質芯片等生物芯片的制造中,,需要在芯片表面構建高精度的微納結構,,用于生物分子的固定和檢測。納米壓印光刻膠可幫助實現(xiàn)這些精細結構的制作,,提高生物芯片的檢測靈敏度和準確性,。
技術趨勢與挑戰(zhàn)
半導體先進制程:
EUV光刻膠需降低缺陷率(目前每平方厘米缺陷數(shù)<10個),開發(fā)低粗糙度(≤5nm)材料,;
極紫外吸收問題:膠膜對13.5nm光吸收率高,,需厚度控制在50-100nm,挑戰(zhàn)化學增幅體系的靈敏度,。
環(huán)保與低成本:
水性負性膠替代溶劑型膠(如PCB阻焊膠),,減少VOC排放,;
單層膠工藝替代多層膠,簡化流程(如MEMS厚膠的一次性涂布),。
新興領域拓展:
柔性電子:開發(fā)耐彎曲(曲率半徑<5mm),、低模量感光膠,用于可穿戴設備電路,;
光子芯片:高折射率膠(n>1.8)制作光波導,,需低傳輸損耗(<0.1dB/cm),。
典型產品與廠商
半導體正性膠:
日本信越(Shin-Etsu)的ArF膠(分辨率22nm,,用于12nm制程);
美國陶氏(Dow)的EUV膠(靈敏度10mJ/cm,,缺陷密度<5個/cm),。
PCB負性膠:
中國容大感光(LP系列):耐堿性蝕刻,厚度20-50μm,,國產化率超60%,;
日本東京應化(TOK)的THMR-V:全球PCB膠市占率30%,適用于高可靠性汽車板,。
MEMS厚膠:
美國陶氏的SU-8:實驗室常用,,厚度5-200μm,分辨率1μm(需優(yōu)化交聯(lián)均勻性),;
德國Microresist的MR膠:耐深硅蝕刻,,線寬精度±2%,用于工業(yè)級MEMS制造,。
告別顯影殘留,!化學增幅型光刻膠助力封裝。
行業(yè)地位與競爭格局
1. 國際對比
技術定位:聚焦細分市場(如納米壓印,、LCD),,而國際巨頭(如JSR、東京應化)主導半導體光刻膠(ArF,、EUV),。
成本優(yōu)勢:原材料自主化率超80%,成本低20%,;國際巨頭依賴進口原材料,,成本較高。
客戶響應:48小時內提供定制化解決方案,,認證周期為國際巨頭的1/5,。
2. 國內競爭
國內光刻膠市場仍由日本企業(yè)壟斷(全球市占率超60%),但吉田在納米壓印,、LCD光刻膠等領域具備替代進口的潛力,。與南大光電,、晶瑞電材等企業(yè)相比,吉田在細分市場的技術積累更深厚,,但ArF,、EUV光刻膠仍需突破。
風險與挑戰(zhàn)
技術瓶頸:ArF,、EUV光刻膠仍依賴進口,,研發(fā)投入不足國際巨頭的1/10。
客戶認證周期:半導體光刻膠需2-3年驗證,,吉田尚未進入主流晶圓廠供應鏈,。
供應鏈風險:部分樹脂(如ArF用含氟樹脂)依賴日本住友電木。
行業(yè)競爭加�,。簢鴥绕髽I(yè)如南大光電,、晶瑞電材加速技術突破,可能擠壓吉田的市場份額,。
負性光刻膠的工藝和應用場景,。無錫負性光刻膠廠家
正性光刻膠的工藝和應用場景。沈陽油性光刻膠國產廠家
廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品,,各有特性與優(yōu)勢,,適用于不同領域。
厚板光刻膠 JT - 3001:具有優(yōu)異的分辨率和感光度,,抗深蝕刻性能良好,。符合歐盟 ROHS 標準,保質期 1 年,,適用于對光刻精度和抗蝕刻要求較高的厚板加工場景,,如一些特殊的電路板制造。
SU - 3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,,對比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應,。重量為 100g,,常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領域,。
液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000:有 1L 和 100g 兩種規(guī)格,,具有優(yōu)異的分辨率,準確性和穩(wěn)定性好,。主要應用于液晶平板顯示器的制造,,能滿足其對光刻膠高精度和穩(wěn)定性的需求。
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠:耐強酸強堿,,耐高溫達 250°C,,長期可靠性高,,粘接強度高。重量 100g,,適用于需要在特殊化學和高溫環(huán)境下進行納米壓印光刻的工藝,,如一些半導體器件的制造。
沈陽油性光刻膠國產廠家