1.更換SEM側(cè)面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動(dòng)連接,。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動(dòng)源。2.將電源線插入控制器背面,。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān),。按紅色按鈕啟用活動(dòng)隔離。3.幾秒鐘后,，使能LED指示燈將變穩(wěn)定,，指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時(shí),，控制器上的紅燈應(yīng)短暫點(diǎn)亮然后熄滅,。4.如果一個(gè)或多個(gè)指示燈持續(xù)亮起，或者在正常情況下指示燈不熄滅,，或者如果點(diǎn)擊不亮,，則表明傳感器過載。請(qǐng)仔細(xì)檢查以下內(nèi)容：沒有任何東西觸及模塊,，連接模塊和SEM的所有電纜均松弛,，并且已針對(duì)負(fù)載適當(dāng)調(diào)整了模塊。HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng),。HERZAN隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制，向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,，從而消除振動(dòng),。測振傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng)，制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,，以保持蕞佳的隔振狀態(tài),。主動(dòng)式防震臺(tái)專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實(shí)際測量的振動(dòng)結(jié)果：AVI主動(dòng)隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間,。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率,。（2）不同負(fù)載下的振動(dòng)傳遞率：AVI的隔振性能在負(fù)載低于30Hz以下時(shí)是一個(gè)重要的參照,。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負(fù)載增加,，隔震效果稍有提升,。主動(dòng)減振臺(tái)隔振臺(tái)國內(nèi)用戶傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源,，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元,。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一,。LFS的實(shí)際位置并不重要,，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后,，系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕,，打開電源,。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了,。如果它們亮了,，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重,。

AVI-400系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號(hào)：AVI-400SLP,，AVI-400MLP，AVI-400XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器,，外部連接,，前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg單位重量：約13kg；約19公斤,，聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC,，50-60赫茲耗電量：通常為18W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板,，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢,。主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制，向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,，從而消除振動(dòng),。

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤,。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置,。AVI600-S的隔離始于1,2Hz,，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作,。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單個(gè)）：600公斤安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。AVI-200SLP隔振臺(tái)摩擦學(xué)應(yīng)用

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照,。HERZAN隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

TS-150支撐面測試:盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行,，但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動(dòng)頻率，因此這些振動(dòng)頻率會(huì)降低隔離的,。您可以通過觀察診斷信號(hào)來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時(shí)推動(dòng)支持,。此測試應(yīng)禁用隔離。如果支撐是剛性的信號(hào)幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿?dòng)?，F(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴,。通常，支架會(huì)對(duì)水平隆頭產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的,。一個(gè)非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,，并且隔離將在這些頻率上受到嚴(yán)重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振,。HERZAN隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,，以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力,，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括：半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測量儀等,。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨,，深受客戶好評(píng),。公司深耕半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備,，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測量儀，正積蓄著更大的能量,，向更廣闊的空間,、更寬泛的領(lǐng)域拓展,。