1.5.系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項(xiàng)如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊(cè);數(shù)據(jù)采集功能的講解:通訊端口,、連接計(jì)算器,、等待時(shí)間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置,;實(shí)際演示一一講解;如何做好備份和恢復(fù)備份資料,;當(dāng)場(chǎng)演示各種報(bào)表的操作并進(jìn)行操作解說(shuō),;數(shù)據(jù)庫(kù)文件應(yīng)定時(shí)作備份,大變動(dòng)時(shí)更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時(shí)造成資料數(shù)據(jù)庫(kù)的流失,;在系統(tǒng)培訓(xùn)過(guò)程中如要輸入一些臨時(shí)數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時(shí)刪除這些資料,。備注:系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請(qǐng)顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊(cè),并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個(gè)人名片,,以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),,**提高加工效率,。湖北輪廓儀出廠價(jià)
NanoX-80003D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測(cè)量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測(cè)量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動(dòng)鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng):高效長(zhǎng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測(cè)量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測(cè)量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準(zhǔn)確度<1nmRMS重復(fù)性<0.01nm(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準(zhǔn)確度<1%重復(fù)性<0.1%(1σ,,10um臺(tái)階高)臺(tái)積電輪廓儀代理商N(yùn)anoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ,;準(zhǔn)確度<1% ;重復(fù)性<0.1% (1σ,,10um臺(tái)階高),。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,平行度,,臺(tái)階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,,5×,,20×,50×,,100×,,可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換光機(jī)電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,,結(jié)果實(shí)時(shí)更新縮放,、定位、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測(cè)量閾值,,三維處理自動(dòng)標(biāo)注測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀個(gè)性化軟件應(yīng)用支持可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量,、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).
比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì),,半導(dǎo)體,,和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本,,復(fù)雜度,和測(cè)量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射,,所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度,使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力,。然而,,偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光,它忽略偏振效應(yīng)(絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱),。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備,光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過(guò)10um的手選,而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚,。在10nm到10um厚度之間,,兩種技術(shù)都可用。而且具有快速,,簡(jiǎn)便,,成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>,。表面形貌(粗糙度,,平面度,平行度,,臺(tái)階高度,,錐角等)。廣東輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用
NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石,。湖北輪廓儀出廠價(jià)
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī)、光刻機(jī),、輪廓儀,,隔振臺(tái)等設(shè)備。湖北輪廓儀出廠價(jià)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),,發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,。目前我公司在職員工以90后為主,是一個(gè)有活力有能力有創(chuàng)新精神的團(tuán)隊(duì),。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x等,。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,深受客戶好評(píng),。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),,我們相信誠(chéng)實(shí)正直、開(kāi)拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,,將為公司和個(gè)人帶來(lái)共同的利益和進(jìn)步,。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展,已成為半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x行業(yè)出名企業(yè),。