NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī),、光刻機(jī),、輪廓儀,隔振臺(tái)等設(shè)備,。共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀技術(shù)原理
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封磚Bump測(cè)量視場(chǎng):72*96(um)物鏡:干涉50X檢測(cè)位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示,;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,,…器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間,,避免人工操作帶來(lái)的一致性,可靠性問(wèn)題歡迎咨詢,。北京晶片輪廓儀晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,。
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀?一,、準(zhǔn)備工作1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān),、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。3.擦凈工件被測(cè)表面。二,、測(cè)量1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上,。2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生,。5.測(cè)量完畢,,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,,并保存,、打印。
輪廓儀的和新團(tuán)隊(duì)夏勇博士,,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,,太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備唐壽鴻博士,,國(guó)家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),,世界即圖像處理,、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量,、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,,為您排憂解難,。產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um)。
新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后,,表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,,表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見(jiàn)如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,,如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾,,都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能,,F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),,這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本,。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,。安徽輪廓儀國(guó)內(nèi)用戶
共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn),。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀技術(shù)原理
輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等),,圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,,通俗地講,,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),,即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,,至于測(cè)量零件的表面輪廓,,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,,但零件輪廓度要求不可,,是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,,因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),,而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度,。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀技術(shù)原理
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,,是一家專業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 公司,。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),,是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力,。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x等,。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,,深受客戶好評(píng),。公司深耕半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測(cè)量?jī)x,正積蓄著更大的能量,,向更廣闊的空間,、更寬泛的領(lǐng)域拓展,。