輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,，樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,，而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差,。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們官網(wǎng),。配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息,。歐洲輪廓儀報(bào)價(jià)

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿(mǎn)足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×，還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。三維輪廓儀競(jìng)爭(zhēng)力怎么樣物鏡是輪廓儀蕞和新的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,。

輪廓儀產(chǎn)品概述：NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加工,、表面工程技術(shù),、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。想要了解更多的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。

NanoX-系列輪廓儀代表性客戶(hù)?集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)–集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技,，通富微電子，江蘇納佩斯半導(dǎo)體,，華潤(rùn)安盛等?MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,，中科電子46所，華東光電集成器件等?高效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,，中國(guó)臺(tái)灣速位科技,、山東衡力新能源等?微電子、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機(jī),、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mmXY運(yùn)動(dòng)速度**快如果有什么問(wèn)題,，請(qǐng)聯(lián)系我們,。測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對(duì)各種產(chǎn)品，不見(jiàn)和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺(tái)階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過(guò)多珍孔盤(pán)（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過(guò)MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中，通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率,。每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn),。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um。原裝進(jìn)口輪廓儀參數(shù)

由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,。歐洲輪廓儀報(bào)價(jià)

   新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見(jiàn)如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾,，都包含在基film3D軟件,。對(duì)于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本。歐洲輪廓儀報(bào)價(jià)

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