我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀？一,、準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動是否正常,。3.擦凈工件被測表面。二,、測量1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果,，并保存,、打印。物鏡是輪廓儀蕞和新的部件,， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。粗糙度輪廓儀實(shí)際價(jià)格

1.3.培訓(xùn)計(jì)劃在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能,、特點(diǎn),、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)權(quán)面的認(rèn)識,。在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,，安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。1.4.培訓(xùn)形式公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn)；向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握,；針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo)，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),；對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答,；霍梅爾輪廓儀用途表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,，還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×，可選,。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多珍孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中,，通過多珍孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī)：1920x1200高速相機(jī)（標(biāo)配）干涉物鏡：2.5X,5X,10X（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：0.1nm–10mm表面反射率：>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準(zhǔn)確度<1nmRMS重復(fù)性<0.01nm(1σ)臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<0.5nm準(zhǔn)確度<1%重復(fù)性<0.1%(1σ,，10um臺階高)共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。霍梅爾輪廓儀用途

配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產(chǎn)品信息。粗糙度輪廓儀實(shí)際價(jià)格

輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化超高精密表面工程技術(shù)輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中，計(jì)算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）粗糙度輪廓儀實(shí)際價(jià)格

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