一、從根源保障物件成品的準確性:通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,,得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,,蕞終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。二,、提高效率:智能化檢測,,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),,即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,,精確度低的缺點,,積大提高加工效率。白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。江蘇輪廓儀有哪些品牌
輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等),,圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,,通俗地講,,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,,至于測量零件的表面輪廓,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,,如果你的三坐標測量機精度比較高,,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右,,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,,因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標,,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。浙江輪廓儀摩擦學應(yīng)用輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,平行度,,臺階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,,例如標配的10×,還有2.5×,,5×,,20×,50×,,100×,,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺陷,,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,,其中以非接觸式測量方法為主,。表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征,。
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示,;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,,…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢,。共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。晶圓片輪廓儀聯(lián)系電話
光學系統(tǒng):同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng),。江蘇輪廓儀有哪些品牌
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,面型輪廓,,表面缺陷,,磨損情況,腐蝕情況,,孔隙間隙,,臺階高度,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光,。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),但是在共焦圖像中,,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),,只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率,。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。江蘇輪廓儀有哪些品牌
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專注于磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù) ,,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系,。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),,深受員工與客戶好評,。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,,膜厚測量儀等。公司奉行顧客至上,、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨,,深受客戶好評。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),,我們相信誠實正直,、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,將為公司和個人帶來共同的利益和進步,。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為半導體工藝設(shè)備,,半導體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀行業(yè)出名企業(yè),。