NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司,。我們主要經營鍵合機,、光刻機、輪廓儀,，隔振臺等設備,。LED光源通過多珍孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。襯底輪廓儀質保期多久

輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別關于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓,，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內,，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。晶片輪廓儀參數(shù)菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲,。

   輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖),。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術,，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網,。

   比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質,，半導體，和金屬薄膜的厚度和折射率,。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術在成本,，復雜度，和測量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個角度入射,，所以一定要分析反射光的偏振和強度，使得橢偏儀對超薄和復雜的薄膜堆有較強的測量能力,。然而,，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學儀器。光譜反射儀測量的是垂直光,，它忽略偏振效應（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉對稱）,。因為不涉及任何移動設備，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的手選，而橢偏儀側重薄于10nm的膜厚,。在10nm到10um厚度之間,，兩種技術都可用。而且具有快速,，簡便,，成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>,。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。

三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準,，都可以提供權面的檢測結果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。四,、穩(wěn)定性強,，高重復性：儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別,。三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,，它既保障了生產加工的準確性,，又提高了成品的出產效率，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時,，依然能夠保持高重復性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的,。測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。國產輪廓儀摩擦學應用

隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。襯底輪廓儀質保期多久

輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術封裝生產線檢測集成電路工藝技術研發(fā)和產業(yè)化國家重點實驗室高效太陽能電池技術研發(fā),、產業(yè)化MEMS技術研發(fā)和產業(yè)化新型顯示技術研發(fā),、產業(yè)化超高精密表面工程技術輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號,，該電信號經放大和處理,，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線,，測量結果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出。（來自網絡）襯底輪廓儀質保期多久

岱美儀器技術服務（上海）有限公司擁有磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務 等多項業(yè)務，主營業(yè)務涵蓋半導體工藝設備,，半導體測量設備,，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀,。公司目前擁有較多的高技術人才,，以不斷增強企業(yè)重點競爭力,，加快企業(yè)技術創(chuàng)新，實現(xiàn)穩(wěn)健生產經營,。公司以誠信為本,，業(yè)務領域涵蓋半導體工藝設備，半導體測量設備,，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀，我們本著對客戶負責,，對員工負責,，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意,。一直以來公司堅持以客戶為中心,、半導體工藝設備，半導體測量設備,，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀市場為導向，重信譽,，保質量,，想客戶之所想，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要,。