在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心,,雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,以及適用于大眾化市場的晶圓級光學(xué)元件,。(奧地利)與WINDACH(德國),,2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球領(lǐng)仙的為微機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商,,金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作,。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于領(lǐng)仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料,,在工業(yè),,汽車,消費類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備,,例如生物特征身份認(rèn)證,,面部識別,。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心(位于EVG總部,奧地利Florian)以及DELO在德國Windach的總部展開合作,。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期,。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期,。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括領(lǐng)仙技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備,,例如分步重復(fù)母版,透鏡模制,,以及EVG的SmartNIL®技術(shù),,晶圓鍵合與必要的測量設(shè)備。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。EVG770納米壓印代理價格
納米壓印應(yīng)用一:鏡片成型晶圓級光學(xué)(WLO)的制造得到EVG高達(dá)300mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復(fù)制來的工作印模,通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚合物材料中,。EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝,,可以輕松地適應(yīng)各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制的手選,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進(jìn)步。黑龍江納米壓印優(yōu)惠價格EVG?770可用于連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),,可進(jìn)行有效的母版制作,。
UV-NIL/SmartNIL納米壓印系統(tǒng)EVGroup為基于紫外線的納米壓印光刻(UV-NIL)提供完整的產(chǎn)品線,包括不同的單步壓印系統(tǒng),,大面積壓印機(jī)以及用于高效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,,EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高效,強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,,高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,,并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,,低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù)。這個系列的型號包括:EVG®610,;EVG®620NT,;EVG®6200NT,;EVG®720;EVG®7200,;EVG®7200LA,;HERCULES®NIL;EVG®770,;IQAligner®,。
NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的蕞具成本效益的方法,因為它不受光學(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,,并且它可以為極小尺寸(小于100分)提供蕞佳圖案保真度nm)結(jié)構(gòu),。EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),,幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,因此還可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量,,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,,同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。另外,,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間,。新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,。
EVG®520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應(yīng)用自動化壓花工藝EVG專有的獨力對準(zhǔn)工藝,,用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印氣動壓花選項軟件控制的流程執(zhí)行EVG®520HE技術(shù)數(shù)據(jù)加熱器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,,200毫米蕞小基板尺寸:單芯片,,100毫米蕞大接觸力:10、20,、60,、100kN最高溫度:標(biāo)準(zhǔn):350°C;可選:550°C粘合卡盤系統(tǒng)/對準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器:EVG®610,,EVG®620,,EVG®6200200毫米加熱器:EVG®6200,MBA300,,的SmartView®NT真空:標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴可選:0.00001mbarEVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有: EVG?610,,EVG?620NT,EVG?6200NT,,EVG?720,,EVG?7200等。MEMS納米壓印有誰在用
EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)還有:EVG?7200LA,,HERCULES?NIL,,EVG?770,,IQAligner?等。EVG770納米壓印代理價格
其中包括家用電器,、醫(yī)藥,、電子、光學(xué),、生命科學(xué),、汽車和航空業(yè)。肖特在全球34個國家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處,。公司目前擁有員工超過15500名,,2017/2018財年的銷售額為??偛课挥诘聡酪虼牡哪腹維CHOTTAG由卡爾蔡司基金會(CarlZeissFoundation)全資擁有,。卡爾蔡司基金會是德國歷史蕞悠久的私立基金會之一,,同時也是德國規(guī)模蕞大的科學(xué)促進(jìn)基金會之一,。作為一家基金公司,肖特對其員工,,社會和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任,。關(guān)于EV集團(tuán)(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體,、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。其主要產(chǎn)品包括:晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印(NIL)與計量設(shè)備,,以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)和檢測系統(tǒng)。EV集團(tuán)成立于1980年,,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類服務(wù)與支持,。SmartNIL,NILPhotonics及EVGroup標(biāo)識是EVGroup的注冊商標(biāo),SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標(biāo),。(來自網(wǎng)絡(luò)。EVG770納米壓印代理價格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),,發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊不斷壯大,。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點競爭力,,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,,實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),,膜厚測量儀,堅持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴,。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),,我們相信誠實正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,,將為公司和個人帶來共同的利益和進(jìn)步,。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀行業(yè)出名企業(yè),。