納米壓印應用一：鏡片成型晶圓級光學（WLO）的制造得到EVG高達300mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復制來的工作印模,，通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉移到光學聚合物材料中,。EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝，可以輕松地適應各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制的手選。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步,。分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版,。廣東納米壓印輪廓測量應用

UV納米壓印光刻EVGroup提供完整的UV納米壓印光刻（UV-NIL）產品線，包括不同的權面積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機,，微透鏡成型設備以及用于高效母版制作的分步重復系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術,。高效，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,，并具有易于擴展的晶圓尺寸和產量。EVG的SmartNI技術達到了納米壓印的長期預期,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產微米和納米級結構的高性能,，低成本和具有批量生產能力的技術,。氮化鎵納米壓印原理SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化，用在下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備生產,。

   ”EV集團的技術研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,，“通過與供應鏈的關鍵企業(yè)的合作，例如DELO,，我們能夠進一步提高效率，作為與工藝和設備**們一同研究并建立關鍵的新生產線制造步驟的中心,?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設備與光學材料的技術與市場領仙企業(yè)。雙方在將技術與工藝流程應用于大規(guī)模生產方面有可靠的經驗,”DELO的董事總經理RobertSaller說道,?！巴ㄟ^合作，我們將提供自己獨特的技術,，將晶圓級工藝技術應用于光學器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們蕞新產品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務,。"晶圓級光學元件的應用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產品提供多種新型的光學傳感設備,。主要的例子是：3D感應，飛行時間,，結構光,，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描,，光學指紋,，頻譜檢測，環(huán)境感應與紅外線成像,。其它應用領域包括汽車照明,，光地毯，平視顯示器,，車內感應,，激光雷達，內窺鏡照相機醫(yī)學成像,，眼科設備與手術機器人,。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到,。

IQAlignerUV-NIL特征：用于光學元件的微成型應用用于全場納米壓印應用三個獨力控制的Z軸,，可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償三個獨力控制的Z軸，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動浮雕功能抵抗分配站集成粘合對準和紫外線粘合功能IQAlignerUV-NIL技術數(shù)據：晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：柔軟的UV-NIL,，鏡片成型曝光源：汞光源對準：≤±0.5微米自動分離：支持的前處理：涂層：水坑點膠（可選）迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。

   NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,，對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來領仙AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經濟產量來說至關重要。通過攜手合作,，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性,。”在此之前,，使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形瑾限于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過,，在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的,，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究,、開發(fā)和實驗,，旨在滿足納米圖案成形的需求，經過了現(xiàn)場驗證,，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板,。去年六月，EVG推出了HERCULES®NIL300mm,，將SmartNIL引入300-mm制造,，滿足各種設備和應用的生產需求，其中包括AR,、MR和虛擬現(xiàn)實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器,、生物醫(yī)療設備、納米光子學和等離子電子學,。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®,。EVG的SmartNIL技術是基于紫外線曝光的全場壓印技術，可提供功能強大的下一代光刻技術,。臺積電納米壓印輪廓測量應用

EVG?610和EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng),。廣東納米壓印輪廓測量應用

UV-NIL/SmartNIL納米壓印系統(tǒng)EVGroup為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產品線，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術,。高效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,，并具有易于調整的晶圓尺寸和產量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產微米和納米級結構的高性能，低成本和具有批量生產能力的技術,。這個系列的型號包括：EVG®610,；EVG®620NT；EVG®6200NT,；EVG®720,；EVG®7200；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL,；EVG®770；IQAligner®,。廣東納米壓印輪廓測量應用

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