F30系列監(jiān)控薄膜沉積,，蕞強(qiáng)有力的工具F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量沉積率,、沉積層厚度,、光學(xué)常數(shù)(n和k值)和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性,。樣品層分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積:可以測(cè)量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜,。這實(shí)際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料,。各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):極大地提高生產(chǎn)力低成本—幾個(gè)月就能收回成本A精確—測(cè)量精度高于±1%快速—幾秒鐘完成測(cè)量非侵入式—完全在沉積室以外進(jìn)行測(cè)試易于使用—直觀的Windows?軟件幾分鐘就能準(zhǔn)備好的系統(tǒng)型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍F30:15nm-70μm380-1050nmF30-EXR:15nm-250μm380-1700nmF30-NIR:100nm-250μm950-1700nmF30-UV:3nm-40μm190-1100nmF30-UVX:3nm-250μm190-1700nmF30-XT:0.2μm-450μm1440-1690nmF50-NIR測(cè)厚范圍：100nm-250μm；波長(zhǎng)：950-1700nm,。氮化鎵膜厚儀聯(lián)系電話

自動(dòng)厚度測(cè)量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動(dòng)測(cè)繪,。人工加載或機(jī)器人加載均可。在線厚度測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過程中移動(dòng)薄膜厚度,。高達(dá)100Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到,。附件Filmetrics提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要。F20系列世界上蕞**的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)只需按下一個(gè)按鈕,，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率,。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單,只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口,并連接樣品平臺(tái),F20已在世界各地有成千上萬(wàn)的應(yīng)用被使用.事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.選擇您的F20主要取決於您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）福建晶圓膜厚儀F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm,；波長(zhǎng)：1440-1690nm。

F40系列包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件FILMeasure讀立軟件(用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount安裝轉(zhuǎn)接器顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標(biāo)準(zhǔn)聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)BG-Microscope(作為背景基準(zhǔn))額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫(kù),隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一-周五）網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃如果需要了解更多的信息,，請(qǐng)?jiān)L問我們官網(wǎng)或者聯(lián)系我們,。

FSM413SPANDFSM413C2C紅外干涉測(cè)量設(shè)備適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石英,、聚合物…………應(yīng)用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度粗糙度薄膜厚度不同半導(dǎo)體材料的厚度環(huán)氧樹脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點(diǎn)高度(bumpheight)MEMS薄膜測(cè)量TSV深度,、側(cè)壁角度...FSM413SP半自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片Wafer厚度3D圖形FSM413C2CFullyautomatic全自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片可適配Cassette,、SMIFPOD、FOUP.重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭* ,；0.8 μm (1 sigma)雙探頭*,。

F40系列將您的顯微鏡變成薄膜測(cè)量工具F40產(chǎn)品系列用于測(cè)量小到1微米的光斑。對(duì)大多數(shù)顯微鏡而言,，F(xiàn)40能簡(jiǎn)單地固定在c型轉(zhuǎn)接器上,，這樣的轉(zhuǎn)接器是顯微鏡行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件。F40配備的集成彩色攝像機(jī),，能夠?qū)y(cè)量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確監(jiān)控,。在1秒鐘之內(nèi)就能測(cè)定厚度和折射率。像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,，F(xiàn)40需要連接到您裝有Windows計(jì)算機(jī)的USB端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)完成設(shè)定,。F40：20nm-40μm400-850nmF40-EXR：20nm-120μm400-1700nmF40-NIR：40nm-120μm950-1700nmF40-UV：4nm-40μm190-1100nmF40-UVX：4nm-120μm190-1700nmF40測(cè)量范圍；20nm-40μm;波長(zhǎng)：400-850nm,。上海膜厚儀學(xué)校會(huì)用嗎

系統(tǒng)測(cè)試應(yīng)力的精度小于15mpa (0.03cm-1) ,，全自動(dòng)的200mm和300mm硅片檢查，自動(dòng)檢驗(yàn)和聚焦的能力,。氮化鎵膜厚儀聯(lián)系電話

光纖紫外線,、可見光譜和近紅外備用光纖。接觸探頭是相當(dāng)堅(jiān)固的,，但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過,。該套件包括指令，以及簡(jiǎn)單的維修工具,，新的和舊風(fēng)格的探頭,。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長(zhǎng)，直徑200um的光纖,，兩端配備SMA接頭,。米長(zhǎng)，分叉反射探頭,。通用附件攜帶箱等,。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件、XP和Microsoft辦公軟件,。電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat,、雙出入孔SMA，并通過泄漏測(cè)試,。LensPaper-CenterHole中間開孔鏡頭紙,，用于保護(hù)面朝下的樣品，5本各100張,。氮化鎵膜厚儀聯(lián)系電話

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