輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：邁爾爾遜1852-1931美國物理學(xué)家曾從事光速的精密測量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn),。1881年，他發(fā)明了一種用以測量微小長度,，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀,。他和美國物理學(xué)家莫雷合作，進(jìn)行了注明的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),，否定了以太de存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ),。由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎,。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光。3D輪廓儀用途

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快二維輪廓儀報價由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個面的粗糙度參數(shù),；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸？如果需要了解更多,，請?jiān)L問官網(wǎng),。

滿足您需求的輪廓儀使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),，使用無損可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單，更方便智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)個性化:定制化客戶報告模式更好用戶體驗(yàn)：迅捷的售后服務(wù),，個性化應(yīng)用軟件支持1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),，具有穩(wěn)定性好、承載大,、勇不磨損等優(yōu)點(diǎn),，達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,，準(zhǔn)確度高,，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡(luò)）表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）,。

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,，而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當(dāng)然也有臺式的?；魇枯喞獌x出廠價

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。3D輪廓儀用途

輪廓儀的自動拼接功能：條件：被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域，使用自動圖片拼接,。需要點(diǎn)擊自動拼接,，輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動的偏差,，自動消除移動中偏差,，減小誤差。但是誤差是一定存在的,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。3D輪廓儀用途

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