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表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-10-20

   蕞大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,,更進(jìn)一步減少總體成本,。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用,。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,,2微米,,和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn),。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量

表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量,輪廓儀

輪廓儀的性能測(cè)量模式移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),,單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺(tái)150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,,傾斜:±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素標(biāo)配:1280×960視場(chǎng)范圍560×750um(10×物鏡)具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng)同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá)10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,,1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75%,;重復(fù)性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀美元價(jià)格輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較),。

表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量,輪廓儀

如何正確使用輪廓儀準(zhǔn)備工作1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。3.擦凈工件被測(cè)表面。測(cè)量1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。4.開始測(cè)量,。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。5.測(cè)量完畢,,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,,標(biāo)出結(jié)果,并保存,、打印,。輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度,、凸度、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線

1.3.培訓(xùn)計(jì)劃在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,,即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn),、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,,讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)權(quán)面的認(rèn)識(shí)。在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn),。1.4.培訓(xùn)形式公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn),;向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握,;針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),,使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng);對(duì)學(xué)員提出的問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)解答,;包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),,作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。

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輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),,檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,面型輪廓,,表面缺陷,,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺(tái)階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。 傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),。NanoScopy輪廓儀代理商

白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量

NanoX-系列輪廓儀代表性客戶?集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)–集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,,江蘇納佩斯半導(dǎo)體,華潤(rùn)安盛等?MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,,中科電子46所,,華東光電集成器件等?高效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,中國(guó)臺(tái)灣速位科技,、山東衡力新能源等?微電子,、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機(jī),、京東方,、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mmXY運(yùn)動(dòng)速度**快如果有什么問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系我們,。表面輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),,在上海市等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,,但不會(huì)讓我們止步,,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,岱美儀器技術(shù)服務(wù)供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),,回首過(guò)去,,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,,我們更要明確自己的不足,,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),,以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,,共同走向輝煌回來(lái)!