HERCULES®NIL特征：全自動(dòng)UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺(tái),，具有多達(dá)八個(gè)可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)蕞小40nm或更小的結(jié)構(gòu)支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D適用于高地形（粗糙）表面*分辨率取決于過程和模板HERCULES®NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/200和300毫米解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率LED（i線）>400mW/cm2對(duì)準(zhǔn)：≤±3微米自動(dòng)分離：支持的前處理：提供所有預(yù)處理模塊迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制（制造）的弟一選擇,。EV Group納米壓印技術(shù)支持

EVG®510HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用自動(dòng)化壓花工藝EVG專有的獨(dú)力對(duì)準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印完全由軟件控制的流程執(zhí)行閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項(xiàng)外部浮雕和冷卻站EVG®510HE技術(shù)數(shù)據(jù)：加熱器尺寸：150毫米,，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：單芯片,，100毫米蕞大接觸力：10,、20、60kN最高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C；可選：550°C夾盤系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器：EVG®610,，EVG®620,，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300,，的SmartView®NT真空：標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴可選：0.00001mbar進(jìn)口納米壓印競(jìng)爭力怎么樣SmartNIL技術(shù)可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。

   NIL系統(tǒng)肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,，對(duì)于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來領(lǐng)仙AR/MR設(shè)備不斷增長的市場(chǎng)需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要。通過攜手合作,，EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性,。”在此之前,，使用光刻/納米壓印技術(shù)對(duì)具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形瑾限于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場(chǎng)邁出的重要一步,。不過，在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的，需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),，旨在滿足納米圖案成形的需求,，經(jīng)過了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證，能夠輕松從晶圓級(jí)樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板,。去年六月,，EVG推出了HERCULES®NIL300mm，將SmartNIL引入300-mm制造,，滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,，其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器,、生物醫(yī)療設(shè)備,、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué)。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®,。

   面板廠為補(bǔ)償較低的開口率,，多運(yùn)用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù)，但此作法的缺點(diǎn)是用電量較高,。若運(yùn)用NIL制程,，可確保適當(dāng)?shù)拈_口率，降低用電量,。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜,。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板,，需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程,。不僅制程時(shí)間長,，經(jīng)過多次曝光后，在圖樣間會(huì)形成細(xì)微的縫隙,，無法完整顯示影像,。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備，可一次形成55吋,、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板,。南韓業(yè)者表示,，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程，是LCD領(lǐng)域中***一個(gè)創(chuàng)新任務(wù),。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時(shí)程,，偏光膜企業(yè)的營收可能減少。（來自網(wǎng)絡(luò),。EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。

   該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,，公司對(duì)這些聚合物作出調(diào)整,，使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產(chǎn)周期時(shí)間內(nèi)粘合各種微小的元件,。此外，DELO紫外線LED固化設(shè)備與點(diǎn)膠閥的可靠度十分杰出,。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,，總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國,、中國,、新加坡及日本均設(shè)有子公司。2019財(cái)政年,，公司的780名員工創(chuàng)造了,。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車、消費(fèi)類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品,。幾乎每一部智能手機(jī)與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品,。DELO的客戶包括博世、戴姆勒,、華為,、歐司朗、西門子以及索尼等。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體,、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商,。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計(jì)量設(shè)備,，,，以及涂膠機(jī)、清洗機(jī)與檢測(cè)系統(tǒng),。EV集團(tuán)創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持。SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn),。連續(xù)納米壓印值得買

EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。EV Group納米壓印技術(shù)支持

UV-NIL/SmartNIL納米壓印系統(tǒng)EVGroup為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī)以及用于高效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高效,，強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的高性能,，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。這個(gè)系列的型號(hào)包括：EVG®610；EVG®620NT,；EVG®6200NT,；EVG®720；EVG®7200,；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL；EVG®770,；IQAligner®,。EV Group納米壓印技術(shù)支持

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司依托可靠的品質(zhì)，旗下品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB以高質(zhì)量的服務(wù)獲得廣大受眾的青睞。業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測(cè)量儀等諸多領(lǐng)域,，尤其半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī),，膜厚測(cè)量儀中具有強(qiáng)勁優(yōu)勢(shì),，完成了一大批具特色和時(shí)代特征的儀器儀表項(xiàng)目；同時(shí)在設(shè)計(jì)原創(chuàng),、科技創(chuàng)新,、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等方面推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。我們?cè)诎l(fā)展業(yè)務(wù)的同時(shí),，進(jìn)一步推動(dòng)了品牌價(jià)值完善,。隨著業(yè)務(wù)能力的增長，以及品牌價(jià)值的提升,，也逐漸形成儀器儀表綜合一體化能力,。公司坐落于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室，業(yè)務(wù)覆蓋于全國多個(gè)省市和地區(qū),。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,，進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn),。