G®105—晶圓烘烤模塊設(shè)計理念：單機EVG®105烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程而設(shè)計,。特點：可以在EVG105烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤,，曝光后烘烤和硬烘烤過程。受控的烘烤環(huán)境可確保均勻蒸發(fā),?？删幊痰慕咏N可提供對光刻膠硬化過程和溫度曲線的ZUI佳控制,。EVG105烘烤模塊可以同時處理300mm的晶圓尺寸或4個100mm的晶圓。特征獨力烘烤模塊晶片尺寸ZUI大為300毫米,，或同時ZUI多四個100毫米晶片溫度均勻性≤±1°C@100°C,，ZUI高250°C烘烤溫度用于手動和安全地裝載/卸載晶片的裝載銷烘烤定時器基材真空（直接接觸烘烤）N2吹掃和近程烘烤0-1mm距離晶片至加熱板可選不規(guī)則形狀的基材技術(shù)數(shù)據(jù)晶圓直徑（基板尺寸）：高達300毫米烤盤：溫度范圍：≤250°C手動將升降桿調(diào)整到所需的接近間隙。OmniSpray涂層技術(shù)是對高形晶圓表面進行均勻涂層,。廣東光刻機推薦型號

EVG光刻機不斷關(guān)注未來的市場趨勢-例如光學(xué)3D傳感和光子學(xué)-并為這些應(yīng)用開發(fā)新的方案和調(diào)整現(xiàn)有的解決方案,，以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續(xù)的技術(shù)和市場地位證明了這一點,，包括EVG在使用各種非標(biāo)準(zhǔn)抗蝕劑方面的無人能比的經(jīng)驗,，這些抗蝕劑針對獨特的要求和參數(shù)進行了優(yōu)化。了解客戶需求和有效的全球支持是我們提供優(yōu)先解決方案的重要基礎(chǔ),。只有接近客戶,，才能得知客戶蕞真實的需求，這是我們一直時刻與客戶保持聯(lián)系的原因之一,。上海晶片光刻機EVG所有光刻設(shè)備平臺均為300mm,。

HERCULES光刻軌道系統(tǒng)所述HERCULES®是一個高容量的平臺整合整個光刻工藝流在一個系統(tǒng)中，縮小處理工序和操作者支持,。HERCULES基于模塊化平臺,，將EVG建立的光學(xué)掩模對準(zhǔn)技術(shù)與集成的晶圓清洗，光刻膠涂層,，烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合,。HERCULES支持各種晶片尺寸的盒到盒處理。HERCULES安全地處理厚,，彎曲度高,，矩形，小直徑的晶圓，甚至可以處理設(shè)備托盤,。精密的頂側(cè)和底側(cè)對準(zhǔn)以及亞微米至超厚（ZUI大300微米）光刻膠的涂層可用于夾層和鈍化應(yīng)用,。出色的對準(zhǔn)臺設(shè)計可實現(xiàn)高產(chǎn)量的高精度對準(zhǔn)和曝光結(jié)果。

EVG®120--光刻膠自動化處理系統(tǒng)EVG®120是用于當(dāng)潔凈室空間有限,，需要生產(chǎn)一種緊湊的,，節(jié)省成本光刻膠處理系統(tǒng)。新型EVG120通用和全自動光刻膠處理工具能夠處理各種形狀和尺寸達200mm/8“的基板,。新一代EVG120采用全新的超緊湊設(shè)計,，并帶有新開發(fā)的化學(xué)柜，可用于外部存儲化學(xué)品,，同時提供更高的通量能力,，針對大批量客戶需求進行了優(yōu)化，并準(zhǔn)備在大批量生產(chǎn)（HVM）中使用EVG120為用戶提供了一套詳盡的好處,，這是其他任何工具所無法比擬的,，并保證了蕞高的質(zhì)量各個應(yīng)用領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)，擁有成本卻非常低,?？梢栽贓VG105烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤、曝光后烘烤和硬烘烤操作,。

EVG®610特征：晶圓/基板尺寸從小到200mm/8頂側(cè)和底側(cè)對準(zhǔn)能力高精度對準(zhǔn)臺自動楔形補償序列電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導(dǎo)遠程技術(shù)支持多用戶的概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）便捷處理和轉(zhuǎn)換重組臺式或帶防震花崗巖臺的單機版EVG®610附加功能：鍵對準(zhǔn)紅外對準(zhǔn)納米壓印光刻（NIL）EVG®610技術(shù)數(shù)據(jù)：對準(zhǔn)方式上側(cè)對準(zhǔn)：≤±0.5μm底面要求：≤±2,0μm紅外校準(zhǔn)：≤±2,0μm/具體取決于基板材料鍵對準(zhǔn)：≤±2,0μmNIL對準(zhǔn)：≤±2,0μmEVG所有掩模對準(zhǔn)器都支持EVG專有的NIL技術(shù),。上海晶片光刻機

除了光刻機之外,，岱美還代理了EVG的鍵合機等設(shè)備。廣東光刻機推薦型號

EVG®150--光刻膠自動處理系統(tǒng)

EVG®150是全自動化光刻膠處理系統(tǒng)中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達300毫米,。EVG150設(shè)計為完全模塊化的平臺,，可實現(xiàn)自動噴涂/旋轉(zhuǎn)/顯影過程和高通量性能。EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復(fù)性,。具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray技術(shù)進行均勻涂覆,，而傳統(tǒng)的旋涂技術(shù)則受到限制。EVG®150特征：晶圓尺寸可達300毫米多達六個過程模塊可自定義的數(shù)量-多達二十個烘烤/冷卻/汽化堆多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載 廣東光刻機推薦型號

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司成立于2002-02-07年,，在此之前我們已在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機,，膜厚測量儀行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗,，深受經(jīng)銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經(jīng)傳的小公司,，慢慢的適應(yīng)了市場的需求,，得到了越來越多的客戶認(rèn)可,。公司業(yè)務(wù)不斷豐富，主要經(jīng)營的業(yè)務(wù)包括：{主營產(chǎn)品或行業(yè)}等多系列產(chǎn)品和服務(wù),?？梢愿鶕?jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品，深受客戶的好評,。公司秉承以人為本,，科技創(chuàng)新，市場先導(dǎo),，和諧共贏的理念，建立一支由半導(dǎo)體工藝設(shè)備,，半導(dǎo)體測量設(shè)備,，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀**組成的顧問團隊,，由經(jīng)驗豐富的技術(shù)人員組成的研發(fā)和應(yīng)用團隊,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司依托多年來完善的服務(wù)經(jīng)驗、良好的服務(wù)隊伍,、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和強大的合作伙伴,，目前已經(jīng)得到儀器儀表行業(yè)內(nèi)客戶認(rèn)可和支持，并贏得長期合作伙伴的信賴,。