輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍蕞大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多，還請訪問岱美儀器的官網(wǎng),。NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度 1um,。輪廓儀

強大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換光機電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速，結(jié)果實時更新縮放,、定位,、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測量閾值,，三維處理自動標(biāo)注測量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置,，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀個性化軟件應(yīng)用支持可進行軟件在線升級和遠程支持服務(wù)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BDMedicalInstrument）光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù),。霍梅爾輪廓儀應(yīng)用視場范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 ,。

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準,。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。（來自網(wǎng)絡(luò)）先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國,、德國,、日本等PI，納米移動平臺及控制Nikon,，干涉物鏡NI,，信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位。

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2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多真孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多真孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),，但是在共焦圖像中，通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率,。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測,。Bruker輪廓儀國內(nèi)用戶

但是在共焦圖像中，通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。輪廓儀

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營鍵合機,、光刻機,、輪廓儀，隔振臺等設(shè)備,。輪廓儀

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