強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結(jié)果實(shí)時更新

縮放,、定位,、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測量閾值,，三維處理自動標(biāo)注

測量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作,，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

輪廓儀的培訓(xùn)

一,、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場,；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),；

1.1. 培訓(xùn)對象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）,；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書,。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀,；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式；

    * 系統(tǒng)一般故障排除,。

浙江聯(lián)電輪廓儀每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國,、日本等 

PI ,，納米移動平臺及控制

Nikon，干涉物鏡

NI,，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機(jī)

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,，華潤安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī),、京東方、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動速度 **快

如果有什么問題,，請聯(lián)系我們,。

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度 1um,。上海輪廓儀售后服務(wù)

NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。浙江聯(lián)電輪廓儀

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動速度 **快