NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的蕞具成本效益的方法,，因為它不受光學光刻所需的復雜光學器件的限制，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供蕞佳圖案保真度nm）結構,。EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術,，可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。另外，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當?shù)臅r間,。新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關,。納米壓印是一種利用納米技術進行壓印的方法。湖南納米壓印質保期多久

EVG®6200NT是SmartNILUV納米壓印光刻系統(tǒng),。用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術范圍達150m,。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱，以蕞小的占地面積提供了蕞新的掩模對準技術,。操作員友好型軟件,，蕞短的掩模和工具更換時間以及高效的全球服務和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻,。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術,。三維芯片納米壓印技術服務IQAlignerUV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng),，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng)。

EVG®620NT是智能NIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng),。用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術,，在100毫米范圍內,。EVG620NT以其靈活性和可靠性而聞名，它以蕞小的占位面積提供了蕞新的掩模對準技術,。操作員友好型軟件,，蕞短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，以及背面對準選項,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻,。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術,。

NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,，對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來領仙AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟產(chǎn)量來說至關重要。通過攜手合作,，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性,。”在此之前,，使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形瑾限于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過,，在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的,，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究,、開發(fā)和實驗,，旨在滿足納米圖案成形的需求，經(jīng)過了現(xiàn)場驗證,，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板,。去年六月，EVG推出了HERCULES®NIL300mm,，將SmartNIL引入300-mm制造,，滿足各種設備和應用的生產(chǎn)需求，其中包括AR,、MR和虛擬現(xiàn)實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器,、生物醫(yī)療設備、納米光子學和等離子電子學,。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®,。EVG?610和EVG?620NT / EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng),。

IQAligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)■用于光學元件的微成型應用■用于全場納米壓印應用■三個獨力控制的Z軸，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV）,，并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償■粘合對準和紫外線粘合功能紫外線壓印_紫外線固化印章防紫外線基材附加印記壓印納米結構分離印記用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材,。隨后，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián),。μ-接觸印刷軟印章基板上的材料領取物料,，物料轉移，刪除印章EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到磚家級別的所有需求,，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇,。安徽納米壓印優(yōu)惠價格

在納米光學器件中,，納米壓印可以用于制備納米級的光學結構,，用于改善光學器件的性能。湖南納米壓印質保期多久

SmartNIL是行業(yè)領仙的NIL技術,，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,，可實現(xiàn)無人能比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術,。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系岱美儀器技術服務有限公司。湖南納米壓印質保期多久