EVG®520HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應(yīng)用自動(dòng)化壓花工藝EVG專有的獨(dú)力對(duì)準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印氣動(dòng)壓花選項(xiàng)軟件控制的流程執(zhí)行EVG®520HE技術(shù)數(shù)據(jù)加熱器尺寸：150毫米,，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：?jiǎn)涡酒?00毫米蕞大接觸力：10,、20,、60、100kN最高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C；可選：550°C粘合卡盤系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器：EVG®610,，EVG®620,，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300,，的SmartView®NT真空：標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴可選：0.00001mbarSmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),。河北納米壓印美元價(jià)格

SmartNIL技術(shù)簡(jiǎn)介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無(wú)限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人能比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì),，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作功能。另外,，主模板的壽命延長(zhǎng)到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。河北納米壓印美元價(jià)格SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人可比的吞吐量,。

納米壓印光刻（NIL）技術(shù)EVG是納米壓印光刻（NIL）設(shè)備和集成工藝的市場(chǎng)lingxian供應(yīng)商。EVG從19年前的研究方法中率先掌握了NIL,，并實(shí)現(xiàn)了從2英寸化合物半導(dǎo)體晶圓到300mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn),。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的ZUI有前途且ZUI具成本效益的工藝，可用于生物MEMS,，微流體,，電子學(xué)以及ZUI近各種衍射光學(xué)元件的各種商業(yè)應(yīng)用。其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號(hào)包含：EVG®610EVG®620NTEVG®6200NTEVG®720EVG®7200EVG®7200LAHERCULES®NILEVG®770IQAligner®熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號(hào)包含：EVG®510HEEVG®520HE詳細(xì)的參數(shù),，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美有限公司,。

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。例如，SmartNIL提供了無(wú)人能比的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的蕞重要標(biāo)準(zhǔn),。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化，以支持下一代藥物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外,，SmartNIL的蕞新發(fā)展為制造具有蕞高功能,，蕞小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。特征：體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度專有SmartNIL®技術(shù)，多使用聚合物印模技術(shù)經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40nm或更小大面積全場(chǎng)壓印總擁有成本蕞低在地形上留下印記對(duì)準(zhǔn)能力室溫過(guò)程開(kāi)放式材料平臺(tái),。HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實(shí)現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)。

EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗(yàn)證的熱壓印系統(tǒng),，可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動(dòng)熱壓印系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印,。EVG的這種經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的整個(gè)聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項(xiàng),，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝,。如果需要詳細(xì)的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，也具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn),。鏡片成型納米壓印服務(wù)為先

EVG開(kāi)拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),，擁有多年技術(shù)，掌握了NIL,，并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量化的生產(chǎn),。河北納米壓印美元價(jià)格

IQAlignerUV-NIL特征：用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用用于全場(chǎng)納米壓印應(yīng)用三個(gè)獨(dú)力控制的Z軸，可在印模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償三個(gè)獨(dú)力控制的Z軸,，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制利用柔軟的印章進(jìn)行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動(dòng)浮雕功能抵抗分配站集成粘合對(duì)準(zhǔn)和紫外線粘合功能IQAlignerUV-NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：柔軟的UV-NIL,，鏡片成型曝光源：汞光源對(duì)準(zhǔn)：≤±0.5微米自動(dòng)分離：支持的前處理：涂層：水坑點(diǎn)膠（可選）迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的河北納米壓印美元價(jià)格