輪廓的角度處理:角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓,，表面缺陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加 工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。廣東研究所輪廓儀

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時(shí),，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,，檢測效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多,，請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng)。芯片輪廓儀價(jià)格輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度,。

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡：干涉面成像，多層垂直掃描蕞好高度測量精度：<1nm高度精度不受物鏡影響性價(jià)比好,。激光共聚焦3D顯微鏡：點(diǎn)掃描合成面成像,，多層垂直掃描Keyence（日本）蕞好高度測量精度：～10nm高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高,、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺(tái)階高度,，給MEMS、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池,、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀,？一、準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。3.擦凈工件被測表面,。二、測量1.將測針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。輪廓儀還可以用于檢測產(chǎn)品的表面缺陷和變形，以及進(jìn)行產(chǎn)品的比較和分析,。

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī)：1920x1200高速相機(jī)（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動(dòng)鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s,，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺(tái)階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ，10um臺(tái)階高),。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。歐洲輪廓儀應(yīng)用

每個(gè)共焦圖像是通過樣品形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,。廣東研究所輪廓儀

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時(shí),，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,，檢測效率會(huì)比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù)；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多，還請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng),。廣東研究所輪廓儀